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NTIS 바로가기주관연구기관 | 연세대학교 Yonsei University |
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연구책임자 | 김현재 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-06 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
과제관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO202200005574 |
과제고유번호 | 1415166651 |
사업명 | 기계장비산업기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-07-23 |
키워드 | 광소결.서브마이크로급 패터닝.유연 기판.실시간 모니터링.음파탐지기. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
유연 기판 손상 최소화를 위한 in-situ 광소결 서브마이크로급 패터닝 기술 및 SONA 모니터링 시스템 원천 기술 개발
□ 개발내용 및 결과
○ 기판 손상이 없는 in-situ 광소결 시스템을 구축하고자 펄스 방식의 532 nm (green) 레이저 도입 및 조건 최적화를 진행하고, 이를 기 보유한 EHD jet printer의 헤드와 결합하여 잉크의 증착 및 소결이 동시에 가능한 장비를 구축함. 구축된 장비를 토대로, 증착된 잉크의 alignment를 향상시키는 펄스
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