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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술원 Korea Advanced Institute of Science and Technology |
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연구책임자 | 장홍영 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-02 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200005748 |
과제고유번호 | 1415167125 |
사업명 | 소재부품산업미래성장동력(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-07-23 |
키워드 | 플라즈마.활성종.원격.크리닝.에싱. |
3. 개발결과 요약
최종목표
- 6G half 이상 대면적 원격 플라즈마 장치 개발
- 6G half non-uniformity 10% 이하
- SiNx cleaning rate 800 nm/min 이상
- PR ashing rate 800 nm/min 이상
- V/S비 1 이상
- cleaning과 ashing이 동시에 가능한 원격 플라즈마 소스 개발
개발내용 및 결과
- 다중 공정이 가능한 고밀도 고출력 원격 플라즈마 소스 기술개발
- 높은 대면적 Uniformity<
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