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NTIS 바로가기주관연구기관 | 케이씨텍(주) |
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연구책임자 | 조강일 |
참여연구자 | 소병록 , 변상두 , 권오준 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-11 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200007388 |
과제고유번호 | 1415155961 |
사업명 | 신성장동력장비경쟁력강화 |
DB 구축일자 | 2022-09-03 |
키워드 | 초음파부상.반송.건조장치.코팅장치.핫플레이트. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
◦ 정밀 초음파 부상기술과 이를 활용한 10세대급 코팅/건조 장치 개발
- 10세대급 정밀 초음파 부상 기술 개발
(초음파 진동자, 초음파 부상 스테이지 및 제어 기술)
- 10세대급 대면적 디스플레이 제조 코팅 및 건조 장치 개발
- 정밀 초음파 부상 기술을 활용 공정 TACT 절감을 위한 Inline 시스템 개발
□ 개발내용 및 결과
◦ 정밀 초음파 부상 기술 개발
· 10.5세대 Thin glass 공정용 초음파 부상 모듈핵심요소부품 개발<
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