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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국전기연구원 Korea Electrotechnology Research Institute |
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연구책임자 | 나문경 |
참여연구자 | 정현돈 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-09 |
과제시작연도 | 2021 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202200008345 |
과제고유번호 | 1711141091 |
사업명 | 한국전기연구원연구운영비지원(R&D)(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2022-08-13 |
□ 연구개발 목표 및 내용
○ 최종 목표
• 더블 스테이지 고속 photoluminescence (PL) mapping 분석 기술 지원
• 결함 검사 정확도 향상을 위한 비파괴 분석법을 이용한 결함 데이터베이스 구축
○ 전체 내용
▪ 실리콘카바이드 PL 분석 장비의 사업화를 위해서는 생산성과 분석 기술 정확도 향상이 필수적임.
▪ 개발된 장비는 웨이퍼가 고속 회전하며 PL 분석을 하는 방식으로 웨이퍼의 회전 속도를 높이고, 동시에 2장의 웨이퍼가 분석가능하도록 더블 헤드 스테이지로 개선하여
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