초록 ▼

연구개발 목표 및 내용
최종 목표
반도체 생산 공장 FAB 내 다양한 형태 및 구조의 제조 장비에 대한 개방형 구조 스케쥴링 시스템 기술 개발
전체 내용
현재 반도체 생산 공장인 팹(Fab)내 제조 장비들의 스케쥴러들은 각 장비 제조 업체별로 상이함. 이는 장비 스케쥴러의 내부 구조 및 논리가 장비 제조 업체만 수정할 수 있는 폐쇄적인 구조이기 때문. 본 연구자는 이러한 반도체 제조공정장비의 한계점을 극복하기 위하여 새로운 데이터 표준을 정의함과 동시에 및 새로운 스케쥴링에 유연한 개방형 구조의 장비스케쥴러를

연구개발 목표 및 내용
최종 목표
반도체 생산 공장 FAB 내 다양한 형태 및 구조의 제조 장비에 대한 개방형 구조 스케쥴링 시스템 기술 개발
전체 내용
현재 반도체 생산 공장인 팹(Fab)내 제조 장비들의 스케쥴러들은 각 장비 제조 업체별로 상이함. 이는 장비 스케쥴러의 내부 구조 및 논리가 장비 제조 업체만 수정할 수 있는 폐쇄적인 구조이기 때문. 본 연구자는 이러한 반도체 제조공정장비의 한계점을 극복하기 위하여 새로운 데이터 표준을 정의함과 동시에 및 새로운 스케쥴링에 유연한 개방형 구조의 장비스케쥴러를 제작하였음.

1단계(해당 시 작성)
목표
목표 1. 클러스터 장비 내 다양한 예외 상황들에 대한 대응 규칙을 개발 및 기존 Baseline Sequence와의 결합
목표 2. 다양한 장비구조 및 운영상황에 대한 강화학습 기반
스케쥴링 기술 개발 및 현실과 근접한 가상환경에서의 검증을 위한 통합 툴 개발
목표 3. 제안된 스케쥴링 기술을 적용 및 검증하기 위한 가상장비 시뮬레이터의 개발 및 검증

내용
스케쥴러를 제작하기 위해서는 우선적으로 기존 Baseline Sequence 뿐만 아니라 다양한 예외 상황에 대한 처리 규칙의 개발이 필요하다. 규칙 개발 이후 이를 Baseline Sequence와 결합하여 다양한 상황에 대한 통합된 장비 운용 방안을 제시한다. 이를 활용하여 다양한 종류의 클러스터 장비에 대하여 포괄적으로 적용 가능한 강화학습 기반 스케쥴링 기술을 개발한다. 이후 스케쥴링 규칙의 체계적 설계 및 개발, 현실과 근접한 가상환경에서 모의, 검증을 위한 통합 툴을 개발하고 이를 이용하여 다양한 장비 환경에 대한 검증을 실시한다.

연구개발성과
FAB 내 운용 장비들에 대해 주로 발생하는 예외 상황인 전이 구간 발생, 공정 시간 변화, 챔버 Failure 발생 등에 대해 예외처리 규칙 개발 및 기존 시퀀스와의 결합을 완료하였음 또한, EFEM 모듈 포함, 다양한 주기의 형태로 클리닝 공정을 시행하는 장비에 대한 강화학습 기반 스케쥴링 기술을 개발하였으며, EFSM기반의 가상 시뮬레이터 개발을 통하여 해당 스케쥴링 규칙의 검증을 실시하였음.

연구개발성과 활용계획 및 기대 효과
현재 FAB들은 장비 업체가 자체적으로 개발한 스케쥴러에 장비 운용을 의존하고 있으며, 전체 FAB라인 운용 시 각 장비의 내부가 Black Box 상태임. FAB 및 장비 업체가 공용으로 활용할 수 있는 개방형 스케쥴링 프레임워크를 제시하는 것을 통하여 각 장비의 Black Box 상태를 해소하고 차후 발생 가능한 반도체 공급망 병목 현상에 도움을 줄 수 있을 것으로 기대됨.

(출처 : 요약문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 요 약 문 ... 2
• 목차 ... 3
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 4
• 2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 ... 5
• (1) 1차년도 연구수행과정 및 수행내용 ... 5
• (2) 2차년도 연구수행과정 및 수행내용 ... 6
• (3) 3차년도 연구수행과정 및 수행내용 ... 8
• (4) 4차년도 연구수행과정 및 수행내용 ... 10
• 3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 정도 ... 11
• 1) 연구수행 결과 ... 11
• 4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도 ... 15
• (1) 장비 생산성 향상을 통한 FAB 전체 생산 비용의 감소 ... 15
• (2) 다양한 종류의 장비에 대한 성능 상한선 제시를 통한 실제 FAB 설계 시 이론적 근거 제시 ... 15
• (3) 공정 장비 성능 시뮬레이션이 가능한 클러스터 장비 에뮬레이터 및 데이터 추출 라이브러리 개발 ... 15
• 5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 ... 15
• (1) FAB 업계 주도의 개방형 스케쥴러 국제 기술표준 개발을 통한 업계 생태계 변혁 ... 15
• (2) 개방형 스케쥴러를 활용한 FAB-장비 업계 협력관계 구축 및 반도체 공급망 병목 해소 ... 15
• 6. 참고문헌 ... 16
• 끝페이지 ... 16