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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술원 Korea Advanced Institute of Science and Technology |
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연구책임자 | 이태억 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-11 |
과제시작연도 | 2021 |
주관부처 | 교육부 Ministry of Education |
연구관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO202200012155 |
과제고유번호 | 1345342774 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-10-13 |
키워드 | 반도체 팹 최적화.개방형 장비 스케줄러.반도체 제조 장비.실시간 스케줄링.웨이퍼 품질관리.FAB Optimization.Open Architecture Tool Scheduler.Semiconductor Manufacturing Equipment.Real-time Scheduling.Wafer Quality Control. |
연구개발 목표 및 내용
최종 목표
반도체 생산 공장 FAB 내 다양한 형태 및 구조의 제조 장비에 대한 개방형 구조 스케쥴링 시스템 기술 개발
전체 내용
현재 반도체 생산 공장인 팹(Fab)내 제조 장비들의 스케쥴러들은 각 장비 제조 업체별로 상이함. 이는 장비 스케쥴러의 내부 구조 및 논리가 장비 제조 업체만 수정할 수 있는 폐쇄적인 구조이기 때문. 본 연구자는 이러한 반도체 제조공정장비의 한계점을 극복하기 위하여 새로운 데이터 표준을 정의함과 동시에 및 새로운 스케쥴링에 유연한 개방형 구조의 장비스케쥴러를
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