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DfAM기반 웨이퍼 프로버 하부척의 적층제조 기술개발
Development of additive manufacturing technology for DfAM-based wafer prober lower chuck 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국생산기술연구원
Korea Institute of Industrial Technology
연구책임자 김건우
참여연구자 성지현 , 이재욱 , 김다헤 , 박소현 , 정현국
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2023-11
과제시작연도 2023
주관부처 과학기술정보통신부
Ministry of Science and ICT
등록번호 TRKO202400000650
과제고유번호 1711200301
사업명 한국생산기술연구원연구운영비지원(주요사업비)
DB 구축일자 2024-06-26
키워드 하부척.삼중주기최소표면.적층제조.적층제조특화설계.온도균일도.Lower Chuck.Triply Periodic Minimal Surface.Additive Manufacturing.Design for Additive Manufacturing.Temperature uniformity.

초록

□ 연구목표
○ 8인치 웨이퍼 프로버 하부척의 적층제조
○ 12인치 웨이퍼 프로버 하부척의 적층제조

□ 연구내용
○ 절삭가공 기반 기존 하부척의 열유동 특성 분석
* 절삭가공 기반 기존 하부척의 구조/성능 조사
○ 격자구조 생성 자동화 프로그램 개발
* 다양한 격자구조의 구조 분석
○ TPMS구조가 적용된 하부척의 열유동해석
* 25LPM 유량과 3,000W의 열용량에 대한 열유동해석
○ 8인치 하부척의 반응표면모델 개발
* EasyDesign을 활용한 progres

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 기본사업 연구보고서 ... 3
  • 기본사업 연구 요약서 ... 4
  • 목차 ... 7
  • 1. 연구개발 개요 ... 8
  • 1-1. 연구개발 목적 ... 8
  • 1-2. 연구개발 필요성 ... 8
  • 1-2. 연구개발 기술의 정의 ... 9
  • 2. 연구개발 내용 ... 11
  • 2-1. 연구개발 WBS(Work Breakdown Structure) ... 11
  • 2-2. 당해 연도 연구개발 목표 및 내용 ... 12
  • 2-3. 성능목표 및 정량목표 ... 19
  • 3. 연구개발 추진전략 및 체계 ... 20
  • 3-1. 연구개발 추진전략 ... 20
  • 3-2. 연구개발 추진체계(편성도) ... 21
  • 4. 연구성과 활용 시나리오 ... 22
  • 5. 2차년도 사업추진계획 ... 22
  • 5-1. 2차년도 연구개발 내용 ... 22
  • 5-2. 연구개발 추진전략 및 체계 ... 26
  • 참고문헌 ... 27
  • 끝페이지 ... 28

참고문헌 (25)

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