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NTIS 바로가기주관연구기관 | 이큐셀 |
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연구책임자 | 배정운 |
참여연구자 | 조승래 , 강상우 , 윤우진 , 권기청 , 명재민 , 방유봉 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-02 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200005718 |
과제고유번호 | 1415168004 |
사업명 | 소재부품기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-07-30 |
키워드 | 공정 진단.웨이퍼형 센서.실시간 모니터링.온도 센서.플라즈마 센서.온도 보정 시스템.플라즈마 센서 보정 시스템.반도체 공정. |
□ 최종목표
실시간 반도체 공정 진단을 위한 on-wafer형 센서 개발
· 공정 중 온도를 진달할 수 있는 300mm급 웨이퍼형 센서 어레이
· 플라즈마 밀도 분석이 가능한 웨이퍼형 플라즈마 진단 센서 어레이
· 온도 및 플라즈마 센서가 동시에 배열된 300mm 웨이퍼형 하이브리드 진단 센서 어레이
· 웨이퍼형 온도 및 플라즈마 센서로부터 정보를 저장하고 외부로 송출 및 운용할 수 있는 알고리즘 개발
· 웨이퍼형 온도 및 플라즈마 센서 어레이의 측정값을 보정하는 시스템 개발
□ 개발내용
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.