초록 ▼

□ 연구개발 목표 및 내용
◼ 최종 목표
● 고순도 공업용수 국산화 핵심장치 (TOC-UV, DO 탈기막) 용출 및 용수품질 평가
● 고순도 공업용수 실증플랜트 단위 공정별 성능 및 용수품질 평가
● 반도체 폐수 재이용을 위한 수질 분석
● 단위 소재 및 장치 (배관, 밸브, 열교환기 등) 제품 성능평가 기법
● 국산화 기술 해외수출(국제표준)을 위한 국내표준 기법 개발
● 고순도 공업용수 생산장치 용출 및 성능평가 인증제 개발 및 운영

◼ 전체 내용
● 고순도 공업용수 국산화

□ 연구개발 목표 및 내용
◼ 최종 목표
● 고순도 공업용수 국산화 핵심장치 (TOC-UV, DO 탈기막) 용출 및 용수품질 평가
● 고순도 공업용수 실증플랜트 단위 공정별 성능 및 용수품질 평가
● 반도체 폐수 재이용을 위한 수질 분석
● 단위 소재 및 장치 (배관, 밸브, 열교환기 등) 제품 성능평가 기법
● 국산화 기술 해외수출(국제표준)을 위한 국내표준 기법 개발
● 고순도 공업용수 생산장치 용출 및 성능평가 인증제 개발 및 운영

◼ 전체 내용
● 고순도 공업용수 국산화 장치의 용출 특성 및 용수 품질 성능평가기법 개발
● 고순도 공업용수 실증플랜트 주요장치 성능 및 신뢰성평가방법 개발
● 고순도 공업용수 실증플랜트 모니터링 장비 운영 가이드라인 도출
● 반도체 폐수 재이용 공정 처리 성능평가방법 개발
● 고순도 공업용수 생산공정에 요구되는 소재 및 장치 특성평가방법 및 성능평가방법 표준(안) 제시
● 1, 2세부 장치개발 단계에서의 용출특성 feedㅇback을 통한 성능개선 목표 달성
● 고순도 공업용수 생산장치 국내 및 국제 표준 제안
● 고순도 공업용수 생산장치 용출 및 성능 평가 인증제 개발 및 운영
● 기존 표준 및 인증제 연계방안 도출

◼ 1단계
❏ 목표
● 기존 문헌조사를 통한 고순도 공업용수 국산화 장비 및 실증플랜트 성능평가 기반구축
● 국산화 장비 용출/용수품질 평가방법 및 실증플랜트 성능평가방법 개발
❏ 내용
● 용출 및 용수품질 성능평가 기반구축
ㅇ 국내외 고순도 공업용수 관련 용출 및 성능평가 문헌조사
ㅇ 국산화 장비 및 초순수 제조/재이용 공정의 성능 평가를 위한 인자 및 방법 도출
● 고순도 공업용수 실증플랜트 성능평가 기반구축
ㅇ 실증플랜트 공정 수질 모니터링 장비 및 운영사례 조사
ㅇ 신뢰성 평가를 위한 실증플랜트 주요 장치/부품 선정 및 평가인자 도출
● 국산화 장비 용출.용수품질 평가방법 개발
ㅇ 국산화 장비의 용출특성 및 용수품질 성능평가방법 도출
ㅇ 성능평가방법에 기반한 국산화 장비 및 제품을 평가하기 위한 pilot scale 평가장치 설계
● 실증플랜트 성능평가방법 개발
ㅇ 실증플랜트 주요 장비 및 부품의 신뢰성 평가방법 개발
ㅇ 모니터링 장비 결과와 샘플링을 통한 성능평가결과 비교를 통한 교차검증 방안 도출

◼ 2단계
❏ 목표
● 국산화 장비 용출/용수품질 평가방법 및 실증플랜트 성능평가방법 최적화
● 장기운영데이터 기반 평가방법 검증 및 인증 제도화 체계 구축
❏ 내용
● 국산화 장비 용출/용수품질 평가방법 최적화
ㅇ 국산화 장비/제품 pilot scale 평가장치 제작
ㅇ 국산화 장비 및 제품의 유/무기물 용출 성능 평가 및 최적화
ㅇ 내구성 평가를 위한 가속수명시험 방법론 도출
● 실증플랜트 성능평가방법 최적화
ㅇ 주요 장치 및 부품 신뢰성 평가 진행 및 수정보완을 통한 최적화
ㅇ 모니터링 장비 검교정 방법 및 주기 등 운영방안 도출
● Pilot scale 장비 최적화
ㅇ 국산화 장치/제품 용출 성능평가를 위한 pilot scale 평가장비 최적화 및 운영 가이드라인 도출
ㅇ 모니터링 장비 운영 가이드라인 (검교정 방법 및 주기 등) 도출
● 인증 제도화 체계 검증
ㅇ 인증 제도화를 위한 장기운영 성능평가데이터 분석
ㅇ 국산화 장치/제품 내구성 평가
ㅇ 용수품질 데이터 확보

□ 연구개발성과
[최종 성과목표 및 달성률]

□ 연구개발성과 활용계획 및 기대 효과
● 고순도 공업용수 공정/수질 평가기법 및 인증제도, 법·제도에 활용
● 국내 고순도 공업용수 기자재 개발 기업 중 해외에 제품을 수출하고자 할 때, 공신력 있는 시험 데이터를 기업체에 제공해 줌으로써 수출 판로를 확대할 수 있는 기회 마련
● 선도형 고순도 공업용수 성능평가 방법기술 확보
● 고순도 공업용수 핵심기자재 성능 검증 및 인증을 통한 기술선진화 도모
● 관련 유사 인증제도와의 연계 활성화 프로그램 구축에 따른 협력사업 발굴

(출처 : 요약문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 요 약 문 ... 2
• 목차 ... 5
• 표목차 ... 6
• 그림목차 ... 9
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 14
• 가. 연구개발 개요 ... 14
• 나. 연구개발 배경 ... 24
• 다. 논문 동향 조사 ... 52
• 라. 특허 동향 조사 ... 59
• 마. 연구의 목표 및 필요성 ... 64
• 2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 ... 72
• 가. 1단계 1차년도 ... 72
• 나. 1단계 2차년도 ... 137
• 3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 정도 ... 224
• 가. 연구수행 결과 ... 224
• 4. 목표 미달 시 원인분석 ... 229
• 5. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도 ... 230
• 6. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 ... 230
• 7. 연구개발비 사용실적 ... 231
• 가. 한국산업기술시험원 ... 231
• 나. 한국과학기술원 ... 231
• 다. 한국물기술인증원 ... 232
• 8. 중요 연구변경 사항 ... 232
• 9. 다음 단계 연구개발계획 ... 233
• 가. 연구개발 목표 및 내용 ... 233
• 나. 연구개발 추진전략 ... 239
• 다. 연구개발 성과의 활용방안 및 기대효과 ... 245
• 참고문헌 ... 249
• 끝페이지 ... 252