$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

[국가R&D연구보고서] 칩스케일 원자 장치를 위한 분광셀 집적 감지 장치 개발
MEMS Vapor Cell Integrated Photodiode for Chip-Scale Atomic Devices 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 나노종합기술원
연구책임자 박종철
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2022-06
과제시작연도 2022
주관부처 교육부
Ministry of Education
연구관리전문기관 한국연구재단
National Research Foundation of Korea
등록번호 TRKO202300006921
과제고유번호 1345352802
사업명 개인기초연구(교육부)
DB 구축일자 2023-09-19
키워드 알칼리 증기셀.검출기.원자시계.물리부.alkali vapor cell.photo detector.atomic clock.MEMS.physics package.

초록 ▼

□ 연구개발 목표 및 내용
◼ 최종 목표
200mm 웨이퍼 레벨 집적 공정 기반으로 MEMS 증기셀이 집적된 실리콘 포토다이오드 개발

◼ 전체 내용
- 고신뢰성을 갖는 단결정 Quartz 기반 QWP 및 MEMS 증기셀 공정 개발
- CPT 신호 획득을 위한 실리콘 포토다이오드 및 MEMS 증기셀 집적 기술 개발
- 온도 제어를 위한 히터 및 온도센서 집적 및 칩 스케일 원자 시계 적용 가능성 평가

□ 연구개발성과
(1) 고신뢰성을 갖는 단결정 Quartz 기반 QWP 및 M

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 요 약 문 ... 2
  • 목차 ... 3
  • 1. 연구개발과제의 개요 ... 4
  • 2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 ... 5
  • 3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 정도 ... 20
  • 1) 연구수행 결과 ... 20
  • 4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도 ... 23
  • 5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 ... 23
  • 6. 참고문헌 ... 24
  • 끝페이지 ... 24

참고문헌 (25)

활용도 분석정보

상세보기
다운로드
내보내기

활용도 Top5 보고서

해당 보고서가 속한 카테고리에서 활용도가 높은 상위 5개 콘텐츠를 보여줍니다.
더보기 버튼을 클릭하시면 더 많은 관련자료를 살펴볼 수 있습니다.

관련 콘텐츠

이 보고서와 함께 이용한 콘텐츠

유발과제정보 저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로