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NTIS 바로가기주관연구기관 | 건국대학교 KonKuk University |
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연구책임자 | 고성림 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2023-03 |
과제시작연도 | 2022 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202300009481 |
과제고유번호 | 1711167704 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부) |
DB 구축일자 | 2023-10-11 |
키워드 | 폴리머 기반 금속산화물 박막 트랜지스터.저온 및 단시간 어닐링.유연인쇄전자.대면적 금속산화물 유연 광센서.그라비어 인쇄.PET based metal oxide thin film transistor.Low-temperature and short time annealing.Flexible printed electronics.Large area flexible metal oxide Photo sensor.Gravure printing. |
□ 연구개요
폴리머 기판에 부적합한 고온과 장시간의 어닐링 조건이 요구되는 금속산화물 박막트랜지스터(TFT)는 다양한 연구를 통해 상온, 상압 조건에서도 어닐링이 가능하도록 개선되었다. 그러나 대부분의 경우 제작을 위해 스핀코팅, 스퍼터링과 같은 배치공정을 벗어날 수 없었다. 특히 DUV를 통한 광 어닐링 공정에서는 산소에 DUV를 조사할시 발생하는 오존으로 인해 질소환경 내에서 진행되어야만 했다. 본 연구에서는 금속산화물의 저온 단시간 어닐링 조건을 배치공정에서 연속공정으로 옮기는 연구를 통해 대면적 유연 금속산화물 TFT를
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