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NTIS 바로가기주관연구기관 | 엘에스켐 |
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연구책임자 | 손균호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2021-08 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202300029344 |
과제고유번호 | 1711122191 |
사업명 | 고용위기기업부설연구소R&D전문인력활용지원 |
DB 구축일자 | 2024-06-18 |
키워드 | 금속 착화합물.티타늄.하프늄.전구체.메탈정제.metal Precursor.Titanium.Hafnium.Precursor.Distillation. |
□연구개발 목표 및 내용
❍ 최종 목표
반도체용 금속 착화합물 시제품 개발 및 합성, 정제 기술 확보
❍ 전체 내용
Trimetoxy(pentamethylcyclopentadienyl)titanium(IV) lkg(solution ) Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV) lkg(solution) 각 2품목 합성 및 정제 기술 개발.
현재 각 10g scale 샘플을 SK 하이닉스 1차 업체에서 평가 중으로 수분 컨트롤 및 고순도 메탈 제거 정제 method 개발 진행 예정
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