초록 ▼

□ 연구개요
화학기상증착법(Chemical vapor deposition; CVD)을 이용하여 전기적 특성이 우수한 p형 반도체 특성을 갖는 이차원 텔루륨(2D tellurium)을 합성, 기본적인 구조적, 전기적 물성을 평가하는 한편, 2차원 p형 반도체로 접근 가능한 물리적 현상들을 연구하고자 함

□ 연구 목표대비 연구결과
○ 제시된 연차별 목표는 아래와 같음
- 1년차: 이차원 텔루륨의 두께 조절파라미터의 확립과 합성된 이차원 텔루륨의 기본적 특성분석
- 2년차: 물리적, 화학적 특성과 세부구

□ 연구개요
화학기상증착법(Chemical vapor deposition; CVD)을 이용하여 전기적 특성이 우수한 p형 반도체 특성을 갖는 이차원 텔루륨(2D tellurium)을 합성, 기본적인 구조적, 전기적 물성을 평가하는 한편, 2차원 p형 반도체로 접근 가능한 물리적 현상들을 연구하고자 함

□ 연구 목표대비 연구결과
○ 제시된 연차별 목표는 아래와 같음
- 1년차: 이차원 텔루륨의 두께 조절파라미터의 확립과 합성된 이차원 텔루륨의 기본적 특성분석
- 2년차: 물리적, 화학적 특성과 세부구조 분석과 기본적인 전계효과트랜지스터의 제작 및 분석
- 3년차: 합성조건의 라이브러리 확립/p-type 소자와 두께제어/금속-부도체전이 실험수행

○ 목표대비 연구결과 요약
- 파라미터의 조절: 합성시간, pre-annealing 조건 조절, 합성온도 조절을 통해 large-scale 의 이차원 텔루륨 필름을 성공적으로 합성함
- 구조적, 광학적 분석: Angle resolved Raman spectroscopy, 매핑, 투과전자현미경분석을 통해 구조적 이방성을 분석함
- p-type 소자의 제작: 합성된 필름에 산소플라즈마 처리를 통한 두께의 제어와 p-type 특성을 확인하였으나, 금속-부도체전이 실험은 미수행

□ 연구개발성과의 활용 계획 및 기대효과(연구개발결과의 중요성)
○ 실제 소자적용으로의 가능성
- 이차원 텔루륨은 그래핀의 낮은 on/off 특성, 전이금속칼코제나이드의 낮은 전하 이동도의 문제를 해결할 수 있는 물질로 평가받고 있으며 높은 공기중 안정성을 나타내기 때문에 향후 스위칭 소자로 응용될 수 있는 가능성이 있음.

○ 합성 플랫폼의 선점 및 파생연구 기대효과
- 대면적 화학기상증착법 플랫폼의 연구가 현재까지도 수행되고 있지 않으므로, 플랫폼의 선점과, 이를 통해 파생되는 응용연구로의 확장을 도모

(출처 : 연구결과 요약문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 연구결과 요약문 ... 2
• 목차 ... 3
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 4
• 2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 ... 4
• 1) 합성플랫폼 구축을 위한 기판의 탐색 ... 4
• 2) 합성방법의 개발 및 합성조건의 최적화 ... 5
• 3) 합성된 이차원 텔루륨의 구조적/광학적 분석 ... 6
• 4) 전기적 특성평가 ... 8
• 3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 수준 ... 9
• 1) 정성적 연구개발성과(연구개발결과) ... 9
• 2) 세부 정량적 연구개발성과 ... 10
• 3) 목표 달성 수준 ... 10
• 4) 목표 미달 시 원인 분석 ... 10
• 4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도(연구개발결과의 중요성) ... 11
• 5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 ... 11
• 6. 자체점검표 ... 12
• 7. 참고문헌 ... 12
• 끝페이지 ... 19