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| 저자 | (대전=연합뉴스 제공) 윤석이 기자 |
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| 원문 | 사이언스타임즈 |
| 출처 | https://www.sciencetimes.co.kr/?p=60598 |
한국원자력연구원(원장 양명승)은 연구용 원자로인 하나로를 이용해 고품질 실리콘 반도체를 생산하는 `중성자핵변환도핑(NTD)’ 기술에 대해 국제 표준인 `ISO 9001:2000′ 인증을 획득했다고 9일 밝혔다.
중성자핵변환도핑은 부도체인 고순도의 실리콘(Si) 단결정에 중성자를 쪼여 실리콘 원자핵 중 일부를 인(P)으로 변환시키는 기술로 이렇게 만들어진 반도체는 화학공정을 이용해 만든 반도체에 비해 인의 분포가 균질해 고급 반도체 소자로 사용할 수 있게된다.
원자력연구원은 지난 2002년 하나로를 이용해 5인치 중성자핵변환도핑 반도체를 생산하는 기술을 개발해 고속전철, 자기부상열차, 전기자동차 설비용 등으로 공급하고 있으며 이번 국제품질 인증으로 국제적으로 기술력을 인정받게 됐다.
아울러 올해말 상용화 목표로 개발에 나서고 있는 8인치 중성자핵변환도핑 반도체 생산 기술에도 가속도가 붙을 전망이다.
원자력연 관계자는 “하나로에서 만들어진 NTD 반도체는 일본과 유럽 등 반도체 웨이퍼 제조회사들로부터 이미 품질의 우수성을 인정받고있다”며 “이번 국제인증은 NTD 반도체 제조부터 품질관리, 운영능력에서 국제적으로 신뢰도를 공인받은 것”이라고 말했다.
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