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NTIS 바로가기현대 산업 분야에서 청정도의 중요성이 떠오르게 되면서 부각되기 시작한 클린룸은 제품의 정밀성을 위해서는 필요한 생산요소 중의 하나로 자리잡았다. 현장에서는 미세한 먼지 하나가 공장의 생산성(Yield)을 좌우 할 수 있기 때문에 클린룸을 어떻게, 얼마나 최적화하느냐에 따라 기업의 경쟁력이 결정될 수 있다. 소비자의 수요가 급격하게 늘어나면서 제품을 빠르고 정밀하게 만들기 위한 초대형 액정(LCD-Liquid Crystal Display) FAB.(Fabrication)에서의 클린룸의 성능을 결정할 수 있는 조건들을 생각해 보면서, 클린룸이 대형화되면 순환풍량이 많아지는데, 이러한 클린룸의 성능을 최적화시키기 위한 한 가지 방법으로서 순환 풍량을 감소시키고 필요한 부분만 고청정도를 유지하는 국소청정(Mini Environment) 시스템에 관하여 정리하여 보기로 하였다. 이는 국소청정 시스템을 채택함으로서 생산의 효율향상 및 작업자의 편리성을 추구할 수 있기 때문이다. 본 논문에서는 지금의 클린룸의 환경(풍량, 층고)을 실제로 계산한 후 국소청정 시스템의 적용과 비교하여 차이점을 알아보고, 국소청정 시스템의 도입 배경과 특징들을 살펴 본 다음, 국소청정 영역 내에서의 기류 해석과 실제 LCD공정에 대해 시물레이션 해 보고 앞으로 필요한 일들도 생각해 본다. 아울러 국소청정 시스템을 이용하여 클린룸의 최적화 방안에 관하여 생각해 볼 것이다. 실제 초대형 LCD FAB.의 생산 공정 중 Color Filter Zone에서의 시물레이션을 통해 높이 측정기 내부의 청정도와 기류 확보에 대해서도 알아본다. 장비 상부에 있는 FFU(Fan Filter ...
This paper provides a study of the Mini-environment System adoption on very large LCD product fabrication. This implies the optimization of the Mini-environment system on the clean room of LCD product fabrication. The optimization is need to reduce a detail dust on LCD. The simulation is done for th...
저자 | 구준욱 |
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학위수여기관 | 연세대학교 공학 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 기계·기계설계 전공 |
지도교수 | 이진호 |
발행연도 | 2003 |
총페이지 | vii, 63p. |
키워드 | 국소청정(Mini Environment)시스템 초대형 LCD FAB Mini environment Optimization LCD FAB Color filter zone |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T9230844&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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