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현대 산업 분야에서 청정도의 중요성이 떠오르게 되면서 부각되기 시작한 클린룸은 제품의 정밀성을 위해서는 필요한 생산요소 중의 하나로 자리잡았다. 현장에서는 미세한 먼지 하나가 공장의 생산성(Yield)을 좌우 할 수 있기 때문에 클린룸을 어떻게, 얼마나 최적화하느냐에 따라 기업의 경쟁력이 결정될 수 있다. 소비자의 수요가 급격하게 늘어나면서 제품을 빠르고 정밀하게 만들기 위한 초대형 액정(LCD-Liquid Crystal Display) FAB.(Fabrication)에서의 클린룸의 성능을 결정할 수 있는 조건들을 생각해 보면서, 클린룸이 대형화되면 순환풍량이 많아지는데, 이러한 클린룸의 성능을 최적화시키기 위한 한 가지 방법으로서 순환 풍량을 감소시키고 필요한 부분만 고청정도를 유지하는 국소청정(Mini Environment) 시스템에 관하여 정리하여 보기로 하였다. 이는 국소청정 시스템을 채택함으로서 생산의 효율향상 및 작업자의 편리성을 추구할 수 있기 때문이다. 본 논문에서는 지금의 클린룸의 환경(풍량, 층고)을 실제로 계산한 후 국소청정 시스템의 적용과 비교하여 차이점을 알아보고, 국소청정 시스템의 도입 배경과 특징들을 살펴 본 다음, 국소청정 영역 내에서의 기류 해석과 실제 LCD공정에 대해 시물레이션 해 보고 앞으로 필요한 일들도 생각해 본다. 아울러 국소청정 시스템을 이용하여 클린룸의 최적화 방안에 관하여 생각해 볼 것이다. 실제 초대형 LCD FAB.의 생산 공정 중 Color Filter Zone에서의 시물레이션을 통해 높이 측정기 내부의 청정도와 기류 확보에 대해서도 알아본다. 장비 상부에 있는 FFU(Fan Filter ...

현대 산업 분야에서 청정도의 중요성이 떠오르게 되면서 부각되기 시작한 클린룸은 제품의 정밀성을 위해서는 필요한 생산요소 중의 하나로 자리잡았다. 현장에서는 미세한 먼지 하나가 공장의 생산성(Yield)을 좌우 할 수 있기 때문에 클린룸을 어떻게, 얼마나 최적화하느냐에 따라 기업의 경쟁력이 결정될 수 있다. 소비자의 수요가 급격하게 늘어나면서 제품을 빠르고 정밀하게 만들기 위한 초대형 액정(LCD-Liquid Crystal Display) FAB.(Fabrication)에서의 클린룸의 성능을 결정할 수 있는 조건들을 생각해 보면서, 클린룸이 대형화되면 순환풍량이 많아지는데, 이러한 클린룸의 성능을 최적화시키기 위한 한 가지 방법으로서 순환 풍량을 감소시키고 필요한 부분만 고청정도를 유지하는 국소청정(Mini Environment) 시스템에 관하여 정리하여 보기로 하였다. 이는 국소청정 시스템을 채택함으로서 생산의 효율향상 및 작업자의 편리성을 추구할 수 있기 때문이다. 본 논문에서는 지금의 클린룸의 환경(풍량, 층고)을 실제로 계산한 후 국소청정 시스템의 적용과 비교하여 차이점을 알아보고, 국소청정 시스템의 도입 배경과 특징들을 살펴 본 다음, 국소청정 영역 내에서의 기류 해석과 실제 LCD공정에 대해 시물레이션 해 보고 앞으로 필요한 일들도 생각해 본다. 아울러 국소청정 시스템을 이용하여 클린룸의 최적화 방안에 관하여 생각해 볼 것이다. 실제 초대형 LCD FAB.의 생산 공정 중 Color Filter Zone에서의 시물레이션을 통해 높이 측정기 내부의 청정도와 기류 확보에 대해서도 알아본다. 장비 상부에 있는 FFU(Fan Filter Unit)의 공기 토출 조건을 변화시키고 Access Flow의 개구율을 조정함으로써 기류의 형상 차이를 보고 최적의 조건을 찾아보는데 관심을 둔다. 또한 실제 LCD 클린룸의 국소청정 영역에 대한 기류를 해석해 본 다음 어느 조건에서 가장 클린룸이 최적화 될 수 있는지에 대해 관심을 둔다.

Abstract ▼ AI-Helper

This paper provides a study of the Mini-environment System adoption on very large LCD product fabrication. This implies the optimization of the Mini-environment system on the clean room of LCD product fabrication. The optimization is need to reduce a detail dust on LCD. The simulation is done for th...

This paper provides a study of the Mini-environment System adoption on very large LCD product fabrication. This implies the optimization of the Mini-environment system on the clean room of LCD product fabrication. The optimization is need to reduce a detail dust on LCD. The simulation is done for the cleanness and the flow security of Color Filter Zone on LCD fabrication. The variable is the air exhaust condition of the upper equipment FFU and the open ratio of the lower equipment Access Floor. And this paper shows the flow analysis of the Mini-environment area. By applying the Mini-Environment System , the clean room of LCD product fabrication can get the flow stability and reduce the cycle flow rate.

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