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NTIS 바로가기In this paper we defined the requirements of the plasma source for new processes and developed several plasma sources haying unique functions. As the applications of the plasmas increase it is needed for the plasma sources to be able to operate many processes and fuctions. We defined the functions f...
저자 | 엄세훈 |
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학위수여기관 | 한국과학기술원 |
학위구분 | 국내박사 |
학과 | 물리학과 |
발행연도 | 2004 |
총페이지 | ⅶ, 96p. |
키워드 | 신공정 플라즈마 소스 제어변수 plasma sources |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T9942946&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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