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NTIS 바로가기한글초록:이 석사논문은 DC Reactive sputtering과 Pulsed Laser Deposition 방법으로 제작된 여러가지 산화물 박막과 산화물 파티클 등에서 볼 수 있는 다양한 특성에 대하여 조사하였다. 특히 다양한 특성중에서 RRAM에서 나타나는 전도성 스위칭 현상을 면밀히 관찰하고자 노력하였다. 실험 샘플들의 증착은 주로 Pt/Ti/SiO2/Si이라는 구조를 가진 기판위에 증착했는데, 기판에 가장 위에 있는 Pt층은 1000Å정도의 두께로써 전극의 역할을 담당하며, Ti층은 100Å의 두께로써 SiO2/Si기판 위에 Pt층을 adhesion을 높이기 위해 사용되었다. 기본적인 방법으로는 Pt/Ti/SiO2/Si의 구조를 가지는 Pt substrate를 하부전극으로 하여, 그 위에 여러종류의 Oxide 물질을 박막형태로 올리고, 다시 그 위에 shadow mask를 이용해 Pt를 100㎛의 지름을 가지는 원형 Top-electrode 형태로 올린다. 이러한 방법으로 산화물 박막을 상,하부 전극으로 샌드위치 구조화 시키며 상,하부 전극에 전기적 포텐셜을 가하여, 전류의 변화를 관찰하거나, 또는 특정한 포텐셜을 주기적으로 가하여주는 ...
저자 | 김수홍 |
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학위수여기관 | 건국대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 물리학과 |
발행연도 | 2007 |
총페이지 | 41 p. |
키워드 | RRAM 산화물박막 oxide zirconium NiO |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T11222617&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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