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NTIS 바로가기본 논문에서는 비냉각 적외선 검출기에 적용하기 위한 마이크로 볼로미터 연구로서 공정 간소화를 위해 단순 2층 구조를 제안하였고 상용화 수준의 온도 분해능을 달성하기 위한 설계 평가와 제작 평가 연구를 진행 하였다. 연구 되어진 마이크로 볼로미터에는 Micromachining 기법이 용이하며 실리콘 집적화와 단일화 공정이 유리한 ...
저자 | 강태영 |
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학위수여기관 | 가천대학교 대학원 |
학위구분 | 국내박사 |
학과 | 전기전자공학과 |
지도교수 | 김경환 |
발행연도 | 2013 |
총페이지 | vii, 127 p. |
키워드 | Microbolometer, Infrared Detector, MEMS |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T13109971&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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