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NTIS 바로가기LED및 전력반도체의 수요는 적용 분야가 다양해짐에 따라 빠르게 증가하고 있다. LED 및 전력반도체의 생산에 있어 MOCVD장비의 중요성은 매우 크다. 신뢰성있는 MOCVD장비의 확보는 고성능의 LED및 전력 반도체의 생산을 뒷받침하는 중요한 인자이다. 따라서 이번 연구에서는 MOCVD장비의 개발에 있어 수치해석적인 접근을 통해 효과적인 설계를 지원하고자 한다. 개발하고자 하는 MOCVD 장비는 기존 장비와의 차별 점으로 MOCVD장비 내 오염도가 매우 적으며 ...
Securing reliable MOCVD equipment is an important factor supporting the production of high performance LEDs and power semiconductors.
Therefore, this study aims to provide effective design for development of MOCVD equipment through a numerical analysis. Unlike conventional technologies, the newl...
저자 | 김대현 |
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학위수여기관 | 韓國技術敎育大學校 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 메카트로닉스工學科 |
지도교수 | 金光宣 |
발행연도 | 2016 |
총페이지 | vii, 73장 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T14069640&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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