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NTIS 바로가기본 연구에서는 비정질 실리콘 반도체 대비 고 이동도를 달성하면서도 투명한 성질을 가지는 산화물 반도체를 이용하여 연구를 진행하였다. low cost와 다양한 조성비를 손쉽게 제작할 수 있는 인쇄기반 공정 중 용액 공정 방법을 이용하여 고유전체박막을 형성하여 우수한 소자 특성을 갖는 a-IZO TFTs를 제작하는 연구 하였다. 본 연구에서는 얇은 두께에서도 우수한 절연특성과 소자 성능을 보장하기 위하여 삼성분계 alloying을 통한 ...
저자 | 이지원 |
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학위수여기관 | 한양대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 전자컴퓨터통신공학과 |
지도교수 | 정재경 |
발행연도 | 2018 |
총페이지 | vi, 33 p. |
키워드 | 전자공학 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T14697554&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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