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NTIS 바로가기요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, v.26 no.3, 1989년, pp.381 - 389
홍성현 (삼성전자주식회사) , 이종무 (인하대학교 금속공학과) , 송성해 (경웅대학교 전자공학과)
Effects of annealing temperature, time, and atmospehre on the flow characteristics of Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition-borophosphosilicate glass were investigated. Stable step coverage can be obtained by annealing the BPSG film at 90
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