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RF PCVD 에 의한 DLC 박막합성과 Tribology특성평가
Tribological Characteristics and Synthesis of DLC Thin Film by using a RE PCVD 원문보기

한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.7 no.12, 1997년, pp.1070 - 1076  

김성영 (생산기술연구원생산기술개발 센터) ,  이상현 (한양대학교 금속재료공학과) ,  신승용 (생산기술연구원생산기술개발 센터) ,  고명완 (생산기술연구원생산기술개발 센터)

초록
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DLC(diamond-like carbon)박막을 RF PCVD법으로 증착하여 일반적인 증착특성과 마찰.마모특성사이의 관계를 알아보기 위해, 증착속도, 박막경도, 내무압축응력 및 박막내의 수소량 측정을 통해 일반적인 증착특성을 조사하였다. 그리고 증착된 박막의 C-H 결합구조와 물질특성 분성을 위해 각각 FTIR 및 Raman분광분석을 행하였다. 박막의 마찰계수와 내마모특성은 Pin-on-disk형 마찰시험기를 이용하여 상기의 증착조건과의 상관관계를 조사하였다. DC self-bais, 즉 충돌에너지가 커지면 박막의 증착속도와 경도는 대체로 증가하고, 박막내의 압축응력은 최대값을 가지다가 다시 감소됨을 알 수 있언ㅆ다. 또한 박막내의 수소량은 급격히 감소하다가 포화됨을 알 수 있었다. 얻어진 박막의 마찰계수는 최소 0.08로 분위기가 dry일 때 더 작으며 내마모성은 이온의 충돌에너지와 밀접한 관계를 가지며 모재인 Si-wafer보다 훨씬 큼을 알수 있었다.

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