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NTIS 바로가기요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, v.35 no.6, 1998년, pp.535 - 542
신동운 (연세대학교 세라믹공학과) , 최두진 (연세대학교 세라믹공학과) , 김긍호 (한국과학기술연구원)
SOI(silicon oninsulator) was fabricated through the direct bonding of a hydrophilized single crystal Si wafer and a thermally oxidized SiO2 thin film to investigate the stacking faults in silicon at the Si/SiO2 in-terface. At first the oxidation kinetics of SiO2 thin film and the stacking fault di...
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