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NTIS 바로가기산업공학 = IE Interfaces, v.12 no.3, 1999년, pp.437 - 447
이영훈 (연세대학교 기계전자공학부) , 조한민 (연세대학교 기계전자공학부) , 박종관 (연세대학교 기계전자공학부) , 이병기 (연세대학교 기계전자공학부)
Modeling and system development for the fabrication process in the semiconductor manufacturing is presented in this paper. Maximization of wafer production can be achieved by the wafer flow balance under high utilization of bottleneck machines. Relatively simpler model is developed for the fabricati...
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