[논문]전자기력 제어를 이용한 6 자유도 초정밀 스테이지

정광석; 백윤수

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[국내논문] 전자기력 제어를 이용한 6 자유도 초정밀 스테이지
Six D.O.F Ultra Fine Stage using Electromagnetic Force Control 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.17 no.3 = no.108, 2000년, pp.158 - 164

정광석 (연세대학교 기계공학과 대학원) , 백윤수 (연세대학교 기계전자공학부)

Abstract ▼ AI-Helper

In recent year, desire and request fer micro automation are growing rapidly covering the whole range of the industry. This has been caused mainly by request of more accurate manufacturing process due to a higher density of integrated circuits in semiconductor industry. This paper presents a six d.o.f fine motion stage using magnetic levitation technique, which is one of actuating techniques that have the potential for achieving such a micro motion. There is no limit in motion resolution theoretically that the magnetically levitated part over a fixed stator can realize. In addition, it Is possible to manipulate the position and the force of the moving part at the same time. Then, the magnetic levitation technique is chosen into the actuating method. However, we discuss issues of design, kinematics, dynamics, and control of the proposed system. And a few experimental results fur step input are given.

Keyword

참고문헌 (9)

Ishihara, H., Arai, F., Fukuda, T., 'Micro mechatronics and Micro Actuators,' IEEE/ASME Trans. on Mechatronics, Vol. 1, pp. 68-79, 1996

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Smith, A.R., Gwo, S., Shih, C.K., 'A new high-resolution two-dimensional micropositioning device for scanning probe microscopy applications,' Rev. Sci. Instrum., Vol. 65, pp. 3216-3219, 1994

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Echeverria, I., Rubio, M., 'High-precision magnetic levitation device with electro-optical feedback,' Rev. Sci. Instrum., Vol. 66, pp. 3931-3938, 1995

상세보기
Holmes, M., Trumper, D., Hocken, R., 'Atomic-Scale Precision Motion Control Stage(The Angstrom Stage),' Annals of the CIRP, Vol. 44, pp. 455-460, 1995

상세보기
Steve Chen, S.J., Busch-Vishiniac, I.J., 'A magnetically levitated, automated, contact analytical probe tool,' IEEE Trans. on Semiconductor Manufacturing, Vol. 8, pp. 72-78, 1995

상세보기
Albertz, D., Dappen, S., Henneberger, G., 'Calculation of the Induced Currents and Forces for a Hybrid Magnetic Levitation System,' IEEE Trans. on Magnetics, Vol. 33, pp. 1263-1266, 1997

상세보기
Jung, K.S., Baek, Y.S., 'Fine motion device using magnetic levitation,' 1st Korea-Japan Symposium of Frontiers in Vibration Science and Technology, pp. 121-129, 1998
Purcell, E.M., Electricity and Magnetism, McGRAW-Hill, pp. 411-421, 1994
Jayawant, Electromagnetic Levitation and Suspension Techniques, London : Edward Arnold, 1981

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