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NTIS 바로가기정보처리논문지 = The transactions of the Korea Information Processing Society, v.7 no.1, 2000년, pp.115 - 125
강호석 (호서대학교 대학원 컴퓨터공학과) , 임성락 (호서대학교 컴퓨터공학부)
In this paper, we suggest the basic components of monitoring system for the semiconductor wafer cleaning equipment and a monitoring system model based on these components. Basic component is defined as a mandatory function which consists of communication with the control system, user interface, comm...
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