최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.10 no.2, 2001년, pp.225 - 233
이영진 (미국 인디아나대학 화학과) , 정칠성 (현대 전자 메모리 연구소) , 윤명노 (현대 전자 메모리 연구소) , 이순영 (현대 전자 메모리 연구소)
Distortion of Secondary Ion Mass Spectrometry(SIMS) depth profile, which is usually observed when the analysis is made using oxygen flooding on the surface of Si with oxide on it, has been corrected. The origin of distortion has been attributed to depth calibration error due to sputter rate differen...
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.