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NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.10 no.3, 2001년, pp.298 - 302
김정형 (한국표준과학연구원 진공기술센터) , 임종연 (한국표준과학연구원 진공기술센터) , 서인용 (한국표준과학연구원 진공기술센터) , 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)
Cleaning effect of RF/DC discharge to clean the surface of vacuum chamber was studied for various discharge conditions. Glow discharge cleaning without baking reduced the outgassing rate to 1/2, which was similar to that after the only baking treatment alone. Glow discharge cleaning treatment with b...
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