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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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유기EL 소자의 제작을 위한 공정의 순서는 어떻게 나뉘는가? | 유기EL 소자의 제작을 위한 공정은 크게 순서에 따라 Pattern형성공정, 박막증착 공정, 봉지 공정, 모듈조립 공정 등 크게 4가지 공정으로 나뉘어 진다. Panel을 제작하는데 있어서 중요한 것은 유기EL에 적합한 photolithograpy기술, 재료의 박막화 기술과 유기, 무기, 산화 막의 박막간 hybrid화 기술 등이다. | |
소자제작을 위한 필수 요소 기술 분야에는 어떠한 것들이 있는가? | 특히 유기층(정공 주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층)의 형성 에는 재료의 특성에 따라 진공증착 방식과[1,2] spin coating 방식으로 나누어지게 된다. 소자제작을 위한 필수요소 기술분야로는 유기EL용 PR pattern 형성기술, 기판전처리 기술, 유기재료 박막형성기술, 봉지기술, 재료정제기술 등이 있다. 여기서는 재료정제기술을 제외한 저분자 유기EL 각 공정의 구성에 대해 살펴보기로 하겠다. | |
sputtering이나 ion planting과 같은 기술을 이용하여 유기 EL전용 ITO 박막을 제작하는 것이 필요한 이유는? | 통상 LCD용으로 제작되는 ITO 박막은 유리기판 위에 형성이 되는데 이러한 박막 형성방식을 적용할 경우 저 저항을 얻기 위해 다결정의 표면 균일도가 20nm 정도가 되어야 기판을 사용하여 제작되는 디스플레이에서 항상 문제가 되는 dark spot의 발생을 억제할 수 있다. 유기EL 발광소자는 carrier 주입형 발광소자이기 때문에 hetero 계면간 carrier 주입효율이 소자의 성능에 가장 큰 영향을 주는 요인이다. 따라서 sputtering이나 ion planting과 같은 기술을 이용하여 유기 EL전용 ITO 박막을 제작하는 것이 필요하다. |
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