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OLED 박막 증착공정에서 유도로 내부의 분자유동 해석
Simulation of Molecular Flows Inside a Guide Block in the OLED Deposition Process 원문보기

한국공작기계학회논문집 = Transactions of the Korean society of machine tool engineers, v.17 no.2, 2008년, pp.45 - 50  

성재용 (서울산업대학교 기계공학과) ,  이응기 (공주대학교 기계자동차공학부)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Molecular flows inside a guide block in the OLED(organic luminescent emitting device) deposition process have been simulated using DSMC(direct simulation Monte Carlo) method. Because the organic materials are evaporated under vacuum, molecules flow at a high Knudsen number of the free molecular regi...

주제어

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문제 정의

  • 유도로는 대면적 유기박막공정을 수행하기 위한 선형 증발원 역할을 하는 것으로 노즐 부에서 얼마나 균일한 분자류가 분사되는지를 해석하는 것이 중요한 설계인자이다. 본 연구에서는 노즐부의 방사특성 해석을 위하여 노즐 출구 부분에 격자를 설정하여 방사되는 분자 류 거동을 파악하고자 하였다. 입구, 출구와 같은 유동 경계에서는 분자의 물리적 상태를 잘 반영할 수 있는 조건이 주어져야 하며, 일반적으로 유동장의 속도가 분자의 열 속력보다 큰 경우 입 출구에서 속도를 지정하는 방식을 적용해 왔다.
  • 본 연구에서는 선형 증발원 방식의 대면적용 OLED 증착기를 개발함에 있어 유도로 내부의 분자유동을 DSMC 방법으로 시뮬레이션하고 유도로의 노즐에서 방사되는 유기재료의 방사특성을 고찰하고자 한다. 이를 위해서 2차원 수치해석 기법을 개발하고 경계조건에 따른 유도로 내부 유동의 변화를 고찰함으로써 물리적으로 합리적인 경계조건을 찾는다.

가설 설정

  • 656xlO'5Ns/m2^ 주어져 있다. 유도로 입구에서의 압력 p는 10"Pa, 온도 T는유도로 벽면의 온도와 동일하게 573 K로 설정하였으며, 유입되는 분자의 속도 U는 lOOOm/s로 가정하였다. 이 때 질소 분자의 상태는 Table 1과 같다.
  • 어렵다. 가장 쉽게 접근할 수 있는 방법은 주어진 질량 유량에 의해 균일한 입구속도 분포를 가지고 분자가 유도로 내부로 유입된다고 가정하는 것이다. 또 하나는 증발기에서증발된 분자가 일정 압력에 도달하면 유도로 내부로 입사되어 노즐로 토출된다고 가정하는 것이다.
  • 가장 쉽게 접근할 수 있는 방법은 주어진 질량 유량에 의해 균일한 입구속도 분포를 가지고 분자가 유도로 내부로 유입된다고 가정하는 것이다. 또 하나는 증발기에서증발된 분자가 일정 압력에 도달하면 유도로 내부로 입사되어 노즐로 토출된다고 가정하는 것이다. 본 연구에서는 입구 조건을 균일 속도분포와 압력경 계조건을 사용하여 그에 따른 영향을 비교하였다.
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참고문헌 (10)

  1. Bird, G. A., 1994, Molecular Gas Dynamics and the Direct Simulation of Gas flows, Oxford University Press, New York 

  2. Nabu, K., 1980, "Direct Simulation Scheme Derived from the Boltzmann Equation," Journal of Physical Society in Japan, Vol. 49, pp. 2042-2058 

  3. Piekos, E. S. and Breuer, K. S., 1996, "Numerical Modeling of Micromechanical Devices Using the Direct Simulation Monte Carlo Method," Journal of Fluids Engineering, Vol. 118, pp. 464-469 

  4. Nance, R. P., Hash, D. B., and Hassan, H. A., 1998, "Role of Boundary Conditions in Monte Carlo Simulation of Microelectromechanical Systems," Journal of Thermophysics and Heat Transfer, Vol. 12, No. 3, pp. 447-449 

  5. Hermina, W. L., 1989, "Monte Carlo Simulation of Rarefied Flow Along a Flat Plate," Journal of Thermophysics and Heat Transfer, Vol. 3, No. 1, pp. 7-12 

  6. Wilmoth, R. G., 1992, "Application of a Parallel Direct Simulation Monte Carlo Method to Hypersonic Rarefied Flows," AIAA Journal, Vol. 30, No. 10, pp. 2447-2452 

  7. Yan, F. and Farouk, B., 2002, "Computations of Low Pressure Fluid Flow and Heat Transfer in Ducts Using the Direct Simulation Monte Carlo Method," Journal of Heat Transfer, Vol. 124, pp. 609-616 

  8. Xue, H., Fan, Q., and Shu, C., 2000, "Prediction of Micro-Channel Flows Using Direct Simulation Monte Carlo," Probabilistic Engineering Mechanics, Vol. 15, pp. 213-219 

  9. Aktas, O., Aluru, N. R., and Ravaioli, U., 2001, "Application of a Parallel DSMC Technique to Predict Flow Characteristics in Microfluidic Filters," Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 10, No. 4, pp. 538-549 

  10. Sung, J., Ahn, Y., Lee, S., and Lee, M. H., 2006, "Analysis of Flow Resistance in Microchannels at Slip-Flow Regime by Direct Simulation Monte Carlo Method," Transaction of the KSME B, Vol. 30, No. 1, pp. 1-7 

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