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NTIS 바로가기한국반도체장비학회지 = Journal of the Korean Society of Semiconductor Equipment Technology, v.2 no.3, 2003년, pp.1 - 6
류근걸 (순천향대학교 신소재화학공학부) , 김우혁 (순천향대학교 신소재화학공학부) , 이윤배 (순천향대학교 신소재화학공학부) , 이종권 (순천향대학교 신소재화학공학부)
In the rapid changes of the semiconductor manufacturing technologies for early 21st century, it may be safely said that a kernel of terms is the size increase of Si wafer and the size decrease of semiconductor devices. As the size of Si wafers increases and semiconductor device is miniaturized, the ...
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