최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기설비공학논문집 = Korean journal of air-conditioning and refrigeration engineering, v.16 no.9, 2004년, pp.820 - 827
문인호 (㈜신성이엔지 기술연구소) , 황영규 (성균관대학교 기계공학부)
The propulsion force acting on a wafer in an air levitation system was measured accurately and then, the corresponding force coefficient was determined. The theoretical propulsion force on the wafer bottom surface were obtained by CFD simulations and from these results the propulsion force coefficie...
* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
출판사/학술단체 등이 한시적으로 특별한 프로모션 또는 일정기간 경과 후 접근을 허용하여, 출판사/학술단체 등의 사이트에서 이용 가능한 논문
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.