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NTIS 바로가기한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.21 no.9 = no.162, 2004년, pp.167 - 173
황주호 (한국기계연구원 공작기계그룹) , 박천홍 (한국기계연구원 공작기계그) , 이찬홍 (한국기계연구원 공작기계그) , 김승우 (한국과학기술원 기계공학과)
The heterodyne He-Ne laser interferometer is the most widely used sensing unit to measure the position error. It measures the positioning error from the displacement of a moving reflector in terms of the wave length. But, the wave length is affected by the variation of atmospheric temperature. Tempe...
Lee, Chan-Hong, 'Ultra Precision Positioning Technology,' Journal of the Korean Society of Precision Engineering, Vol.17, No.12, pp. 9-15, 2000
Bryan, J.. 'International Status of Thermal Error Research,' Annals of the CIRP, Vol. 39, pp. 645-656, 1990
Stone, Jack A. and Phillips, Steven D., 'Corrections for wavelength variations in precision interferometric displacement measurements,' Journal of Research of the NIST, Vol. 101, No. 5, pp. 671-674, 1996
Agilent 5529A Dynamic calibrator measurements reference guide, pp. A4-A5, 2001
Stone, Jack A. and Zimmerman, Jay H., 'Index of refraction of Air,' http://patapsco.nist.gov/mel/div821
HP5528A Laser Measurement system User's Guide, PP. 19.1-19.7, 1984
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