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NTIS 바로가기반도체및디스플레이장비학회지 = Journal of the semiconductor & display equipment technology, v.3 no.2, 2004년, pp.11 - 15
유정주 (수원대학교 전자재료공학과) , 배규식 (수원대학교 전자재료공학과)
Scales, accumulated on some parts of semiconductor equipments such as sputters and CVD during the device fabrication processes, often lower the lifetime of the equipments and production yields. Thus, many equipment parts have be cleaned regularly. In this study, an attempt to establish an effective ...
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