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NTIS 바로가기한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics, v.16 no.3, 2005년, pp.235 - 238
최상국 (전자통신연구원) , 이천희 (청주대학교 전자공학과)
A Multiple electron beam lithography system with arrayed microcolumns has been developed for high throughput applications. The small size of the microcolumn opens the possibility for arrayed operation on a scale commensurate. The arrayed microcolumns based on of Single Column Module (SCM) concept ha...
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E. Kratschmer, H.S. Kim, M.G.R. Thomson, K.Y. Lee, S.A. Rishton, M.L. Yu, S. Zolgharnain, B.W. Hussey, and T.H.P. Chang, J. Vac. Sci. Technol. B, 14 (6), 3792, (1996)
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