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가변 특성이 우수한 실리콘 기판을 사용한 BST 박막형 가변 커패시터
BST Thin Film Variable Capacitor with High Tunability on Silicon Wafer 원문보기

韓國電磁波學會論文誌 = The journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science, v.16 no.3 = no.94, 2005년, pp.253 - 259  

김기병 (광운대학교 ITRC RFIC 연구센터) ,  윤태순 (광운대학교 ITRC RFIC 연구센터) ,  이종철 (광운대학교 ITRC RFIC 연구센터) ,  김란영 (한국과학기술원 재료공학과) ,  김현석 (한국과학기술원 재료공학과) ,  김호기 (한국과학기술원 재료공학과)

초록
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본 논문에서는 고가의 단결정 기판 대신에 저가의 실리콘 기판을 이용한 인터디지탈 구조의BaSrTiO$_{3}$(BST) 박막 가변 커패시터를 제안하였다. 저가의 실리콘 기판 위의 BST 박막은 PLD 장비를 이용하여 증착하였으며, 제작된 가변 커패시터는 4 GHz까지 측정되었다. 또한 최대 인가 전압은 50 V이며, 5 kV/cm 조건에서 약 30$\%$ 정도의 가변율을 얻는다. 저가의 실리콘 기판 위에 BST 박막을 증착, 커패시터를 구현함으로써 BST 박막을 이용한 가변 소자들을 집적화할 수 있는 가능성을 보였다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

In this paper, BaSrTiO$_{3}$(BST) thin film tunable interdigital capacitor using low cost silicon substrate instead of expensive single-crystalline substrate is presented. The tunable capacitor in which BST thin film is deposited by PLD has operation frequency and applied bias up to 4 GHz...

참고문헌 (12)

  1. S. N. Das, 'Quality of a ferroelectric material', IEEE Trans., Microwave Theory Tech., vol. 12, pp. 440-445, Jul. 1964 

    상세보기 crossref

  2. A. Tombak, J. P. Maria, F. Ayguavives, Z. Jin, G. T. Stauf, A. I Kingon, and A. Mortazawi, 'Tunable barium strontium titartate thin film capacitors for RF and microwave application', IEEE Microwave and Wireless Component Lett., vol. 12, no. 1, pp. 3-5, Jan. 2002 

    상세보기 crossref

  3. D. Kim, Y. Choi, M. G. Allen, J. S. Kenney, and D. Kiesling, 'A wide-bandwidth reflection-type phase shifter at S-band using coated substrate', IEEE Trans., Microwave Theory Tech., vol. 50, no. 12, pp. 2903-2909, Dec. 2002 

    상세보기 crossref

  4. K. B. Kim, T. S. Yun, I. D. Kim, M. H. Lim, H. G. Kim, J. C. Lee, J. H. Kim, B. Lee, and N. Y. Kim, 'Design of tunable band-pass filters and phase shifters using BST thin film', Proc. 2002 European Microwave Conf(EuMC), vol. 1, pp. 211-214, Sep. 2002 

  5. F. A. Miranda, R. R. Romanotky, F. W. VanKeuls, C. H. Mueller, R. E. Treece, and T. V. Rivkin, 'Thin films multilayer conductor/ferroelectric tunable microwave components for communication application', Integrated Ferroelectronics, vol. 1, pp. 231-246, 1997 

  6. Y. Zhao, R. York, B. Noren, D. Kimball, L. E. Larson, and P. M. Asbeck, 'Linearity improvement of a doherty amplifier using a $BaSrTiO_3$ phase shifter', WAMI Conference, 2004 

  7. Y. Lill, A. S. Nagra, E. G. Erker, T. R. Taylor, J. Speck, and R. A. York, ' $BaSrTiO_3$ interdigitared capacitors for distributed phase shifter applications', IEEE Microwave and Guided Wave Letters, vol. 10, no. 11, pp. 448-450, Nov. 2000 

    상세보기 crossref

  8. K. B. Kim, T. S. Yun, H. S. Kim, R. Y. Kim, H. G. Kim, and J. C. Lee, 'An interdigitla BST capacitor with high tunability and low loss tangent', Proc.. 2004 European Microwave Conf(EuMC), vol.1, pp. 161-164, Oct. 2004 

  9. A. Tombak, J. P. Maria, F. T. Ayguavives, Z. Jin,G. T. Stauf, A. I. Kingon, and A. Mortazawi, 'Voltage-Controlled RF filters employing thin-film barium- strontium-titanate tunable capacitors', IEEE Trans., Microwave Theory Tech., vol. 51, no. 2,Feb. 2003 

  10. H. S. Kim, M. H. Lim, H. G. Kim, and I. D. Kim, 'Characterization of Ni-Doped BST thin films on LSCO buffer layers prepared by pulsed laser deposition', Electrochem. Solid State Lett., vol. 7, pp. J1-J4, Jul. 2004 

  11. K. C. Gupta, R. Garg, I. Bahl, and P. Bhartia, Microstrip Lines and Slotlines, 2nd Edition, Artech House: Boston-London, pp. 32-33, 1996 

  12. B. Acikel, High Performance Barium Strontium Titanate Varactor Technology for Low Cost Circuit Applicaions, Ph.D. Dissertation, Dept. Electrical & Computer Eng., UC Santa Barbara, Santa Barbara, California, USA, 2002 

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