[논문]대면적 유기EL 양산 장비 개발을 위한 증착 공정 모델링

이응기

대면적 유기EL 양산 장비 개발을 위한 증착 공정 모델링
Evaporation Process Modeling for Large OLED Mass-fabrication System 원문보기

In order to design an OLED(Organic Luminescent Emitting Device) evaporation system, geometric simulation of film thickness distribution profile is required. For the OLED evaporation process, thin film thickness uniformity is of great practical importance. In this paper, a geometric modeling algorithm is introduced for process simulation of the OLED evaporating process. The physical fact of the evaporating process is modeled mathematically. Based on the developed method, the thickness of the thin-film layer can be successfully controlled.

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

본 연구는 대면적 증착 시스템 설계를 위하여 증착 공정의 컴퓨터 시뮬레이션을 위한 증착 공정 모델을 개발한다. 증착 공정을 컴퓨터 시뮬레이션으로 대치함으로써, 단시간에 최적 공정 조건을 확립할 수 있도록 한다.

가설 설정

박막 균일도 분포에 대한 해석을 위하여 공간에 위치한 미소 면적 dA를 가정한다. 이 미소 면적에 응축되는 성막량을 계산하기 위하여 (Fig.

제안 방법

다른 형태의 증발원으로서 스모(sumo) 형상의 증발원(Fig. 10)에 대한 증착 실험을 수행하였다. 증발원의 방사 분포 특성값 n을 식(13)으로 구한 결과 n=3.
요구된다. 본 연구에서는 증발 원을 사용한 공정 실험으로부터 측정된 성막량으로부터 역으로 n 값을 추정하는 과정을 적용한다.
9). 선정된 위치에 증발원을 설치하여 증착 공정실험을 수행하였으며, 그 결과 측정된 두께 분포 및 균일도가 (Table 2)에 나타나 있다. 일반적인 유기 EL 증착 공정 사양인 5%를 충분히 만족하는 증착 공정 성능을 보여주고 있음을 확인할 수 있다.
7 이었다. 유추된 n 값을 이용하여 증발원의 방사 특성을 예측하고, 대면적 유기EL 생산을 위한 최적의 증발 원위치를 탐색기법을 사용하여 선정하였다(Fig. 9). 선정된 위치에 증발원을 설치하여 증착 공정실험을 수행하였으며, 그 결과 측정된 두께 분포 및 균일도가 (Table 2)에 나타나 있다.

이론/모형

최소화 한다. 본 연구에서는 삼각함수에 지수가결합되어 있는 코사인 함수에 로그(logarithm)을 적용함으로써 최소 자승법의 적용이 용이한 식(11)의 형태를 사용한다.
증착 공정 실험으로부터 측정된 박막 두께 데이터에 대한 코사인 함수의 근사를 위하여, 본 연구에서는 최소 자승법 (Least Square Method)을 이용하여 근사 오차를 최소화 한다. 본 연구에서는 삼각함수에 지수가결합되어 있는 코사인 함수에 로그(logarithm)을 적용함으로써 최소 자승법의 적용이 용이한 식(11)의 형태를 사용한다.

성능/효과

박막 두께 예측 모델의 검증을 위하여 증착 공정이 수행되었으며, 그 결과 최대 4.7% 이내의 오차로 박막 두께 분포 예측이 가능함을 확인하였다(Table 1).
본 연구에서 사용된 일자형 증발원(Fig. 8)의 방사 분포 특성값이 n 값을 계산하기 위하여, 증발원의 증착 실험을 수행하였으며 그 결과 Fig. 7과 같은 박막 두께 분포를 측정할 수 있었다. 측정된 박막두께 분포 (Fig.
선정된 위치에 증발원을 설치하여 증착 공정실험을 수행하였으며, 그 결과 측정된 두께 분포 및 균일도가 (Table 2)에 나타나 있다. 일반적인 유기 EL 증착 공정 사양인 5%를 충분히 만족하는 증착 공정 성능을 보여주고 있음을 확인할 수 있다.
회전 증착 공정의 결과 형성되는 박막 두께 분포는 회전축을 기준으로 축 대칭 형상을 가지며, 기판과 증발 원의 상대 위치의 관계인 (r/h), 그리고 증발원의 방사 분포를 표현하는 n 값의 함수로 표현됨을 알 수 있다. (Fig.

후속연구

증착 공정을 컴퓨터 시뮬레이션으로 대치함으로써, 단시간에 최적 공정 조건을 확립할 수 있도록 한다. 본 연구를 통하여 유기 EL 양산을 위한 증착 공정의 최적 조건을 선정함으로써 생산비 절감 및 생산성 향상을 기대할 수 있으며, 생산 설비 설계 및 납기의 혁신적인 단축이 기대되며, 보다 빠른 납기로 인하여 제품 개발 및 생산 경쟁력에서 우위를 확보할 수 있게 된다.

내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 논문명, 저널/프로시딩명, 저자 , 발행년, 권, 호, 시작페이지, 끝페이지, 발행기관 관리번호, 논문명, 대등논문명, 저자 , 저널/프로시딩명, 발행기관, 발행년, 발행언어, 권, 호, 시작페이지, 끝페이지, ISBN, ISSN, 주제분야, 키워드, 초록(한글), 초록(영문), 저자(소속기관)
저장형식	Text(ASCII format) Excel format RefWorks Direct Export RIS format (for Reference Manager, ProCite, EndNote), Scholar's Aids, Mendeley
메일정보	받는사람 (필수) @ 보내는사람 (선택) @ 제목 내용 KISTI 검색결과 이메일 서비스
안내	총 건의 자료가 검색되었습니다. 다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000) 검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다. 데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요) 다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다. 파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오. ~ Text(ASCII format) Excel format

연합인증

대면적 유기EL 양산 장비 개발을 위한 증착 공정 모델링
Evaporation Process Modeling for Large OLED Mass-fabrication System 원문보기

Abstract ▼ AI-Helper

주제어

AI 본문요약
AI-Helper

문제 정의

가설 설정

제안 방법

이론/모형

성능/효과

후속연구

이 논문을 인용한 문헌

저자의 다른 논문 :

연구과제 타임라인

관련 콘텐츠

원문 보기

연관된 기능

이 논문과 함께 이용한 콘텐츠

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

선택된 텍스트

연합인증

대면적 유기EL 양산 장비 개발을 위한 증착 공정 모델링 Evaporation Process Modeling for Large OLED Mass-fabrication System 원문보기

Abstract ▼ AI-Helper

주제어

AI 본문요약 엑셀 다운로드 AI-Helper

문제 정의

가설 설정

제안 방법

이론/모형

성능/효과

후속연구

이 논문을 인용한 문헌

저자의 다른 논문 :

이응기 (12)

연구과제 타임라인

전체(0) 논문(0) 특허(0) 보고서(0)

전체(0) 논문(0) 특허(0) 보고서(0)

관련 콘텐츠

원문 보기

연관된 기능

이 논문과 함께 이용한 콘텐츠

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

선택된 텍스트

대면적 유기EL 양산 장비 개발을 위한 증착 공정 모델링
Evaporation Process Modeling for Large OLED Mass-fabrication System 원문보기

AI 본문요약
AI-Helper