$\require{mediawiki-texvc}$
  • 검색어에 아래의 연산자를 사용하시면 더 정확한 검색결과를 얻을 수 있습니다.
  • 검색연산자
검색연산자 기능 검색시 예
() 우선순위가 가장 높은 연산자 예1) (나노 (기계 | machine))
공백 두 개의 검색어(식)을 모두 포함하고 있는 문서 검색 예1) (나노 기계)
예2) 나노 장영실
| 두 개의 검색어(식) 중 하나 이상 포함하고 있는 문서 검색 예1) (줄기세포 | 면역)
예2) 줄기세포 | 장영실
! NOT 이후에 있는 검색어가 포함된 문서는 제외 예1) (황금 !백금)
예2) !image
* 검색어의 *란에 0개 이상의 임의의 문자가 포함된 문서 검색 예) semi*
"" 따옴표 내의 구문과 완전히 일치하는 문서만 검색 예) "Transform and Quantization"
쳇봇 이모티콘
안녕하세요!
ScienceON 챗봇입니다.
궁금한 것은 저에게 물어봐주세요.

논문 상세정보

운모 기판을 플렉시블 다결정 실리콘 박막 트랜지스터에 적용하기 위한 버퍼층 형성 연구

Formation of a Buffer Layer on Mica Substrate for Application to Flexible Thin Film Transistors

Abstract

Polycrystalline silicon (poly-Si) thin film transistors (TFTs) might be fabricated on the mica substrate and transferred to a flexible plastic substrate because mica can be easily cleaved into a thin layer. To overcome the adhesion and stress problem between poly-Si film and mica substrate, a buffer layer consisting of $SiO_x/Ta/Ti$ three layers has been developed. The $SiO_x$ layer is for electrical isolation, the Ti layer is for adhesion of $SiO_{x}$ and mica. and Ta is for stress relief between $SiO_x$ and Ti. A TFT was fabricated on the mica substrate by a conventional Si process and was successfully transferred to a plastic substrate.

참고문헌 (9)

  1. A. Asano and T. Kinoshita, SID 02 Digest, 1196 (2002) 
  2. S. Inoue, S. Utsunomiya, T. Saeki and T. Shimoda, IEEE Transactions on Electron Devices, 49(8), 1353 (2002) 
  3. T. Takechi, T. Enguchi, H. Kanoh, T. Ito and S. Otsuki, EEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, 18(3), 384 (2005) 
  4. S. Miyake, Appl. Phys. Lett., 65, 980 (1994) 
  5. J. W. Park, J. H. Eom, B. T. Ahn and Y. K. Jun, Kor. J. Mater. Res., 14(5), 343 (2004) 
  6. K. R. Williams and R. S. Muller, J. Microelec. Sys., 5(4), 256 (1996) 
  7. Y. C. Lee, H. D. Li and S. J. Fanash, IEEE Electron Device Letters, 24(1), 19 (2003) 
  8. S. Miyake, Appl. Phys. Lett., 67, 2925 (1995) 
  9. J. H. Ahn and B. T. Ahn, J. Electrochem. Soc., 148, H115 (2001) 

이 논문을 인용한 문헌 (0)

  1. 이 논문을 인용한 문헌 없음

DOI 인용 스타일