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문제 정의
- 본 논문에서는 SiHt를 사용하는 반도체 및 FPD 공정 중에서, 진공 펌프에서 SiH>로 인한 폭발이나 화재를 억제하기 위해 퍼지(purge)하는 질소 가스양이 공정 챔버 내부의 압력(진공도)에 영향을 미치지 않는 범위를 결정하기 위해 퍼지 하는 질소 가스양과 진공 펌프의 용량에 대해 전산 코드(TransCalc 과 PumpCalc, BOC Edwards사 자체 개발 전사 코드) 를 이용한 이론적 고찰을 수행하였다.
- 많은 양의 희석용 퍼지 가스에 의해 공정 챔버의 진공도에 영향을 주기 않기 위해 일반적으로 펌프 후단에 희석용 퍼지 가스를 주입하나, 이 경우 진공펌프의 내부는 Sift 의 농도가 LFL 값보다 높아 진공펌프의 작업 시 화재가 발생하기도 한다. 본 연구에서는 부스터 펌프와 드라이 펌프 사이에 희석용 퍼지 가스를 주입하여 이 문제를 해결하면서 공정 챔버의 진공도에 영향을 최소로 할 수 있음을 모의실험 결과를 통해 알 수 있었다.
가설 설정
- 이런 상황에서 안전을 고려하기 위해서는 최악의 조건을 고려하여 모든 것을 예측할 수밖에 없게 된다. 따라서 본 논문에서는 공정가스들 사이에 화학 반응이 일어나지 않는다는 가정 하에서 Sit%의 농도를 계산하였다. 앞에서 가정한 공정조건의 가스들이 진공펌프를 통해 배기되는 동안 진공 펌프에 공급되는 질소가스에 의해 SiH(의 농도는 약 1.
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