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논문 상세정보

탄소나노튜브 트랜지스터 제작

Fabrication of CNT Field Effect Transistor

Abstract

We fabricated field-effect transistor based carbon nanotubes(CNTs) directly grown by thermal chemical vapor deposition(CVD) and analyzed their performance. The Ethylene ($C_2H_4$), hydrogen($H_2$) and Argon(Ar) gases were used for the growth of CNTs at $700\;^{\circ}C$. The growth properties of CNTs on the device were analyzed by SEM and AFM. The electrical transport characteristics of CNT FET were investigated by I-V measurement. Transport through the nanotubes is dominated by holes at room temperature. By varying the gate voltage, we successfully modulated the conductance of FET device by more than 7 orders of magnitude.

참고문헌 (14)

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