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고정밀 얼라인을 위한 하이브리드 조작 장치의 개발
Development of a Hybrid Substrate Handler for Precision Alignment 원문보기

반도체및디스플레이장비학회지 = Journal of the semiconductor & display equipment technology, v.6 no.1 = no.18, 2007년, pp.1 - 6  

이동은 (공주대학교 대학원) ,  김숙한 (공주대학교 대학원) ,  이응기 (공주대학교)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

In order to raise productivity of the OLED and realization of the OLED TV, the enlargement of the mother glass substrate is required. The large-size glass substrate has some difficulties regarding its deflection during handling operation due to its thin thickness (0.5$\sim$0.7t) which is ...

주제어

AI 본문요약
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문제 정의

  • 인한 상당한 처짐의 발생이다[4]. 논문은 대면적 OLED 증착 공정에서 기판 처짐을 최소화하기 위한 방안을 제안하고, 제안된 처짐량 최소화 방안에 대한 실험 장비를 설계 . 제작하고, 각도에 따른 기판 처짐을 측정하여 개발된 방안의 효용성을 검증한다.
  • 본 연구에서 OLED의 증착 공정에서 대형 기판의 처짐을 최소화하기 위하여 기판의 양단에 굽힘 및 스트레칭 지지 조건을 부여할 수 있는 기판 조작 방안을 제안하였다.
  • 본 연구에서 제안하는 기판 고정 기구는 기판의 양단에 스트레칭과 굽힘 지지 조건을 부가하여 기판의 처짐을 최소화 하는 기능을 구현하기 위한 것이다(Fig. 4).

가설 설정

  • 탄성 거동하는 보로 가정할 수 있다. 양단 고정 보 (beam)는 자유단 지지의 보 보다 줄어드는 것이 알려져 있다[5].
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