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NTIS 바로가기전기학회논문지 = The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers, v.56 no.8, 2007년, pp.1461 - 1465
조성목 (한국전자통신연구원) , 양우석 (한국전자통신연구원) , 류호준 (한국전자통신연구원) , 전상훈 (한국전자통신연구원) , 유병곤 (한국전자통신연구원) , 최창억 (한국전자통신연구원)
A micromachined sensor part for an infrared focal plane array has been designed and fabricated. Amorphous silicon was adapted as a sensing material, and silicon nitride was used as a membrane material. To get a good efficiency of infrared absorption, the sensor was made as a
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J. J. Yon et al, 'First demonstration of 25um pitch uncooled amorphous silicon microbolometer IRFP A at LETI-LIR,' in Proceedingsof SPIE Vol.5783, pp, 432-440, 2005
K. C. Liddard, 'Applicaton of interferometric enhancement to self-absorbing thin film thermal IR detectors,' Infrared Phys., Vol. 34, No. 4, pp.379-387, 1993
W. Fang and J. A. Wickert, 'Determining mean and gradient residual stresses in thin films using micromachined cantilevers,' J. Micromech. Microeng., Vol. 6, pp.301-309, 1996
W. S. Yang et al, 'Deformation reduction of MEMS infrared sensor by stress balancing of multilayer,' submitted to J. Micromech. Microeng
M. Klanjsek Gunde and M. Macek, 'Infrared optical constants and dielectric response functions of silicon nitride and oxynitride films,' Phys, Stat. Sol. (a), Vol. 183, No. 2, pp.439-449, 2001
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