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NTIS 바로가기한국공작기계학회지 = Journal of the Korean society of machine tool engineers, v.18 no.3, 2009년, pp.7 - 25
전은채 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) , 윤재성 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) , 정준호 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) , 최두선 (한국기계연구원 나노공정장비연구실)
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