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문제 정의
- imprint lithography)공정을 들 수 있다. 본 공정의 특징은 나노임프린트 리소그래피공정을 유연기판을 사용히는 R2R(roll-to-roll)공정에 적용한 것인데 정렬문제를 해결할 수 있는 방안을 제시했다. 즉 나노임프린트 리소그래피는 다단스탬프를 사용하여 다층 구조를 한번에 패턴닝 할 수 있다는 점에 착안하여 패턴닝하고자 하는 이종 재질 박막을 순차적으로 기판 상에 형성한 후 다단 스탬프를 사용하여 한번의 공정으로 레지스트상에 다단형상을 패턴닝한다.
- 그러나 앞서 서술한 바와 같은 패턴 또는 부품의 소형화에 따른 수십 ㎛ 이하 크기의 가공에는 바로 사용할 수 없기 때문에 새로운 가공기술에 대한 연구 및 개발이 전세계적으로 활발히 이루어지고 있다. 이 글에서는 이러한 마이크로부품 가공기술의 현재까지의 국내외 개발 현황과 그 예를 기술하고자 한다
- 가장 처음 시작되었다. 이후 일본의 AIST에서는 micro factroy 연구를 주도하면서 이와 관련된 micro milling, micro lathe, micro EDM 및 W-EDM 기계의 제작 및 성능향상을 위한 연구를 진행하였다. 이러한 연구를 바탕으로NipponDenso에서 micro milling과 EDM을 사용하여 제작한 micro car의 예를 그림 2에 나타내었다.
- 미 세 구조물은 그 크기가 마이 크로 혹은 나노 단위 일 때 각각 가공 및 성형 메커니즘이 상이하므로, 이를 동일 표면에 동시에 가공 및 성형하기 위해서는 물리적인 크기 효과(size effect)를 고려한 공정이 필요하다. 한국기계연구원 및 일본의 동경대에서는 이와 같은 마이크로-나노 하이브리드 구조물에 대한 가공 및 성형을 수행하여 DNA 분석 칩을 제작하기 위한 연구를 수행하였다. 이는 E-beam 공정을 통한 마이 크로 채 널 제작, UV lithography 및 etching을통한 나노 채널 제작, 폴리머 복제공정을 통한 성형기술 등을 포함하는데, 향후 그 응용범위가 확대될 전망이다.
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