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한국해양정보통신학회논문지 = The journal of the Korea Institute of Maritime Information & Communication Sciences, v.14 no.9, 2010년, pp.2065 - 2070
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The diluted PMMA treated
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| 핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
|---|---|---|
| OTFT의 특성은 무엇에 따라 결정되는가? | 기존의 트랜지스터는 무기물 반응을 기본으로 이루어져 있어서 유기물에 대한 연구는 거의 이루어져 있지 않았으며, 특히 박막에서의 유기화합물에 대한 연구는 나노기술을 요구하고 있다[6-10]. OTFT의 특성은 SiO2 산화막의 특성에 따라 결정되며, SiO2 산화막의 특성분석은 FTIR 분석방법, XPS 분석방법, Raman 분석 방법 등 여러 가지 방법이 있으며, 그 중에 한가지인 FTIR 분석기술은 유기물 박막에 있어서 유용한 분석법으로 알려져 있으며, 유기물 박막에 대한 많은 정보들을 제공해 준다[11-13]. 그리고 금속/절연체/반도체구조를 이용한 누설전류 측정법이 있다[14-15]. | |
| OTFT의 게이트 절연막으로 사용되는 SiO2의 단점을 보완하기 위해 무엇을 사용하는가? | 그런데OTFT를만들기위해서는게이트 절연막으로 SiO2를 사용하는데 누설전류의 발생으로특성이좋지않다. 그것을보완하기위해서 SiO2 게이트 절연막위에 보호막을만들어 사용하고있다. 이때주로 사용되고 있는 물질이 PMMA (poly-methylmethacrylate)와 OTS (n-octadecyltrichlorosilane) 유기물질이다. | |
| OTFT는 어떤 트랜지스터를 실현할 수 있는 대표적인 유기물 반도체인가? | 유기물 박막에대한 연구는 전도체, 절연체 등에 동시에 적용하여 사용될 수 있는 독특한 특성 때문에 디스플레이나, 통신시스템에 이용할 수 있어서 최근 많은 연구가 이루어지고 있는 분야이다. 대표적으로는 적은 비용으로 고속의 이동도를 갖는 유연한 트랜지스터를 실현할 수 있는 필수 요소인 OTFT (Organic Thin Film Transistor)가 대표적인 유기물 반도체로서 적용되고 있는실정이다[1-5]. 그런데OTFT를만들기위해서는게이트 절연막으로 SiO2를 사용하는데 누설전류의 발생으로특성이좋지않다. |
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