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반도체/LCD 제조공정에서의 Silane에 대한 ALARP개념의 화재 폭발 위험성평가에 관한 연구
A Study on the As Low As Reasonably Practicable (ALARP)-Concept Risk Assessment of Silane in Semiconductor and LCD Process 원문보기

대한안전경영과학회지 = Journal of the Korea safety management & science, v.12 no.4, 2010년, pp.93 - 98  

이중희 (인천대학교 안전공학과) ,  황성민 (인천대학교 안전공학과) ,  우인성 (인천대학교 안전공학과)

초록
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본 연구에서는, 반도체, LCD 공정에서 금속막을 증착하기 위하여 PECVD장비에 화재, 폭발 위험성과 독성을 가진 Silane가스를 사용하게 되는 장비인 gas cabinet, pipeline, VMB(Valve manifold box), MFC(mass flow controller)장비 등, 전반적인 시스템에 대하여 영국 HES의 ALARP개념을 도입하여 위험성 평가를 실시하여 문제점을 도출하고 대책을 강구 하는데 목적이 있고, 여러 가지 문제점중 절대적으로 수용 할 수 없는 Critical Risk로는 Gas Cylinder를 사용하여 Silane을 공급하고자 할 때에는 필히 Gas Cabinet을 사용하여 공급하여야 하고, Tube Trailer를 사용하여 공급하고자 할 때에는 필수적으로 Purge System을 갖추어 공급하여야 한다. 선택적으로 수용할 수 있는 High, Medium Risk로는 Gas Cylinder 또는 Tube Trailer를 사용하여 Silane을 공급하고자 할 때는 Inlet 부분에 RFO(Resticted Flow Orifice)를 설치하여 사용하고 Gas Supply Room에는 CO2소화설비를 적용하지 말고 Water Mist등 물 분무설비를 적용하여야한다.

주제어

#PECVD   #Silane gas   #ALARP-concept risk assessment  

AI 본문요약
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제안 방법

  • The objective of this study is to perform the silane system risk assessment based on the concept of ALARP (As Low As Reasonably Practicable) in order to establish the design and operation guideline3), reflecting the problems and solutions derived from the assessment results.
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참고문헌 (8)

  1. Silane Guideline-V.1, "Silane Guideline for Storage, Distribution and Handling of Silane" 2007. 

  2. Rushbrook Consulting？ngineers, "Safety Guideline for Storage, Distribution Handling of Silane" 2007 

  3. HSE Report UK, "Reducing Risks Protection ALARP" 2007. 

  4. SEMI Code, Appendix 9-SEMI Standards 

  5. Alastair R Brown C.Eng, "RCL ARB 061122 Silane Safety Guideline_v2.1" 2007. 

  6. CCPS, "Guidelines for Evaluating the Characteristics of Vapor Cloud Explosion, Flash Fire, and BLEVEs" 1994. 

  7. Geoff Wells, "Hazard Identification and Risk Assessment" 1996 

  8. LG Electronics, "EESH Training Textbook"1995 

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