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탄화규소 단결정 박막 성장 기술 원문보기

세라미스트 = Ceramist, v.13 no.6, 2010년, pp.35 - 53  

김무성 (LG Innotek LG 소재부품연구소 Silicone Carbide Lab.) ,  강석민 (LG Innotek LG 소재부품연구소 Silicone Carbide Lab.) ,  조영득 (LG Innotek LG 소재부품연구소 Silicone Carbide Lab.) ,  채경훈 (LG Innotek LG 소재부품연구소 Silicone Carbide Lab.)

초록이 없습니다.

질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
고품질 탄화규소 단결정 박막 웨이퍼의 제작 및 이를 이용한 신뢰성 있는 전력반도체 소자의 제작에 대한 성과가 이루어지지 못한 이유는? 이와 같이 탄화규소 전력반도체 소자는 에너지 소비의 감소와 직접적 연관이 있기 때문에 지난 10여 년간 기술선진국들(EU, USA, Japan)을 중심으로 산업관점에서 연구개발되어 왔지만 고품질 탄화규소 단결정 박막 웨이퍼의 제작 및 이를 이용한 신뢰성 있는 전력반도체 소자의 제작에 대한 괄목할 만한 성과를 이루지 못한 것이 사실이다. 여기에는 크게 두 가지의 이유가 있는데, 탄화규소 단결정 박막 웨이퍼 및 전력반도체 소자의 낮은 품질과 높은 가격 때문이다. 탄화규소는 실리콘 반도체 재료의 대체재로써 반세기 동안 발전 및 개선되어 온 실리콘의 기술적 성과(300mm의 웨이퍼 사이즈, 고품질, 낮은 가격)에 비해 1/3 정도의 웨이퍼 사이즈, 낮은 품질 및 5,000$(100mm 단결정박막기준) 수준의 높은 가격을 형성하고 있다.
고효율의 탄화규소 전력반도체 소자를 전자기기와 시스템에 적용할 경우 얻을 수 있는 이점은? 고효율의 탄화규소 전력반도체 소자를 전자기기 및 시스템에 적용할 경우 크게 화석연료의 사용량을 줄일 수 있어 자연적으로 CO2의 배출량을 감소시킬 수 있다. 이와 같이 탄화규소 전력반도체 소자는 에너지 소비의 감소와 직접적 연관이 있기 때문에 지난 10여 년간 기술선진국들(EU, USA, Japan)을 중심으로 산업관점에서 연구개발되어 왔지만 고품질 탄화규소 단결정 박막 웨이퍼의 제작 및 이를 이용한 신뢰성 있는 전력반도체 소자의 제작에 대한 괄목할 만한 성과를 이루지 못한 것이 사실이다.
탄화규소가 전력 소자로의 응용 면에서 가장 적합한 재료라 할 수 있는 이유는? 탄화규소는 좁은 에너지갭을 갖는 실리콘과 비교하여 높은 절연 파괴전압, 높은 열전도도, 높은 전자 포화 속도를 가지고 있어 전력 소자로의 응용 면에서 가장 적합한 재료라 할 수 있다. 높은 절연 파괴 전압은 1kV 이상의 매우 높은 전압영역에서 단극소자의 구현을 가능하게 한다.
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