실리콘 웨이퍼공정에서 발생하는 실리콘 슬러지로부터 리싸이클링 공정으로 Si-SiC 혼합물을 분리 회수한 다음 기계적 합성법으로 Si-SiC-CuO-C 복합물을 제조하였으며, 리튬전지 음극물질로서의 가능성을 조사하였다. 실리콘 슬러지의 주요 불순물은 절삭유, 금속불순물 및 SiC를 들 수 있다. 오일세정-자력선별-산세척으로 절삭유와 금속불순물을 제거한 다음 고에너지 밀링법으로 Si-SiC-CuO-C 복합물을 합성하였다. 복합물의 충방전 용량과 사이클 특성을 조사한 결과, 수명에 따른 용량 유지 특성이 향상된 우수한 결과를 얻을 수 있었다. 복합물을 구성하는 SiC와 CuO 관련 물질은 실리콘의 부피팽창으로 인한 기계적 파괴 현상을 억제하는 요소로 작용하는 것으로 추정되며, 반면에 Fe 등과 같은 불순물은 전극의 충방전 용량을 감소시키는 요인으로서 전극물질 합성 전에 10 ppm 이내로 제거되어야 하는 것으로 판단된다.
실리콘 웨이퍼공정에서 발생하는 실리콘 슬러지로부터 리싸이클링 공정으로 Si-SiC 혼합물을 분리 회수한 다음 기계적 합성법으로 Si-SiC-CuO-C 복합물을 제조하였으며, 리튬전지 음극물질로서의 가능성을 조사하였다. 실리콘 슬러지의 주요 불순물은 절삭유, 금속불순물 및 SiC를 들 수 있다. 오일세정-자력선별-산세척으로 절삭유와 금속불순물을 제거한 다음 고에너지 밀링법으로 Si-SiC-CuO-C 복합물을 합성하였다. 복합물의 충방전 용량과 사이클 특성을 조사한 결과, 수명에 따른 용량 유지 특성이 향상된 우수한 결과를 얻을 수 있었다. 복합물을 구성하는 SiC와 CuO 관련 물질은 실리콘의 부피팽창으로 인한 기계적 파괴 현상을 억제하는 요소로 작용하는 것으로 추정되며, 반면에 Fe 등과 같은 불순물은 전극의 충방전 용량을 감소시키는 요인으로서 전극물질 합성 전에 10 ppm 이내로 제거되어야 하는 것으로 판단된다.
As a recycling of Si sludge from Si wafer process, a Si-SiC-CuO-C composite material was synthesized and investigated as an anode material for lithium batteries. The Si sludge consisted of Si, SiC, machine oil, and metallic impurities. The oil and metal impurities was removed by organic washing, mag...
As a recycling of Si sludge from Si wafer process, a Si-SiC-CuO-C composite material was synthesized and investigated as an anode material for lithium batteries. The Si sludge consisted of Si, SiC, machine oil, and metallic impurities. The oil and metal impurities was removed by organic washing, magnetic separation, and acid washing. The Si-SiC-CuO-C composite from the recovered Si-SiC mixture was prepared by high-energy mechanical milling. According to the electrochemical tests such as charge-discharge capacity and cycling behavior, it showed the improved cycle performance. The SiC and CuO-related phases were presumed to restrain the volume expansion of the anode and Fe, however, should be removed below 10 ppm prior to synthesis of the composite because it caused the capacity loss of the active material itself.
As a recycling of Si sludge from Si wafer process, a Si-SiC-CuO-C composite material was synthesized and investigated as an anode material for lithium batteries. The Si sludge consisted of Si, SiC, machine oil, and metallic impurities. The oil and metal impurities was removed by organic washing, magnetic separation, and acid washing. The Si-SiC-CuO-C composite from the recovered Si-SiC mixture was prepared by high-energy mechanical milling. According to the electrochemical tests such as charge-discharge capacity and cycling behavior, it showed the improved cycle performance. The SiC and CuO-related phases were presumed to restrain the volume expansion of the anode and Fe, however, should be removed below 10 ppm prior to synthesis of the composite because it caused the capacity loss of the active material itself.
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문제 정의
본 연구에서는 Si 슬러지로부터 분리공정을 통하여 절삭유와 금속 불순물 등을 제거한 Si-SiC 혼합물을 회수하고자 하였으며, 리튬이차전지 음극 재료로서의 가능성을 알아보기 위하여 고에너지 볼밀링법으로 Si-SiC- CuO-C 복합물을 합성하고자 하였다. 최종 생성된 Si- SiC-CuO-C 복합물의 전기화학적 충방전 거동을 살펴보았으며, 구성 성분들이 충방전 용량과 사이클 특성에 미치는 영향을 조사하였다.
제안 방법
복합물을 기계적 합성법으로 제조하였다. Si 슬러지로부터 Si의 분리공정은 Fig. 1과 같이 세정에 의한 오일 제거, 자력선별과 산세척으로 금속불-순물을 제거한 다음 중액에서 실리콘으로부터 Sic를 부분적으로 침전-분리하는 공정을 제안하였다. 기존의 연구결과L2) 와 같이 절삭유와 잘 혼합될 수 있는 유기 용매 즉, dichloromethanRCHKE)을 폐슬러지와 혼합하였으며 강력한 교반을 실시하여 폐슬러지로부터 절삭유를 선택적으로 용해하였다.
Si 웨이퍼 절단공정에서 발생하는 Si 슬러지로부터 Si 를 분리회수한 다음 리튬전지 음극물질로서 Si-SiC- CuO-C 복합물을 기계적 합성법으로 제조하였다. Si 슬러지로부터 Si의 분리공정은 Fig.
각 물질의 금속 성분분석은 유도결합플라즈마분광기 (ICPA, Rigaku)로 분석하였으며, 복합물의 상확인 및 결정성 관찰을 위해 X선 회절 분석(XRD, Bruker, Co-Ka) 을 실시하였다. 그리고 활물질의 형상과 조성은 전자현미경(SEM-EDS, JEOL) 및 X선 형광법(XRF, Shimadzu)를이용하여 확인하였다.
9 로 하고 밀링시간을 36시간하여 Si-SiC-CuO 복합물을 제조하였다. 그리고 제조된 Si-SiC-CuO 복합물을 800°C, Ar 분위기에서 3시간동안 열처리 후 흑연과의 볼밀링을 통하여 최종 생성물인 Si-SiC-CuO-graphite 복합물을 제조하였으며, 이때 혼합물:탄소의 중량비는 1:1로 그리고 밀링시간은 30분으로 고정하였다. Fig.
방전 테스트 장비 (Maccor)를 사용하여 50 mAh/g의 정전류 조건에서 수행하였다. 다공성 전극인 관계로 겉보기 면적에 대한 전류 밀도보다는 활물질 중량에 대한 전류량으로 실험을 수행하였고, 전위 범위는 0.0~2.0V 로 하였다.
방전 실험은 충. 방전 테스트 장비 (Maccor)를 사용하여 50 mAh/g의 정전류 조건에서 수행하였다. 다공성 전극인 관계로 겉보기 면적에 대한 전류 밀도보다는 활물질 중량에 대한 전류량으로 실험을 수행하였고, 전위 범위는 0.
본 연구에서는 전 연구의 방법에 따라 각 물질의 조성비는 Si:SiC:CuO = 0.99:0.11:1.9 로 하고 밀링시간을 36시간하여 Si-SiC-CuO 복합물을 제조하였다. 그리고 제조된 Si-SiC-CuO 복합물을 800°C, Ar 분위기에서 3시간동안 열처리 후 흑연과의 볼밀링을 통하여 최종 생성물인 Si-SiC-CuO-graphite 복합물을 제조하였으며, 이때 혼합물:탄소의 중량비는 1:1로 그리고 밀링시간은 30분으로 고정하였다.
분리회수된 Si 금속분말로부터 기계적 합성법에 의하여 Si-SiC-CuO-C composite를 제조하고 전극특성 측정용 시험 celt을 Fig. 2의 순서를 따라 제조하였다.7) Si-SiC-CuO 복합물을 제조하기 위해 기계적 합금화 방법의 일종인 고에너지 밀링법을 이용하였다.
실리콘 웨이퍼공정에서 발생하는 실리콘 슬러지의 리싸이클링 수단으로 슬러지로부터 실리콘을 분리한 다음 기계적 합성법으로 Si-SiC-CuO-C 복합물을 제조하였으며, 리튬이차전지 음극 물질로서의 가능성을 조사하였다.
공기로 인한 영향을 배제하기 위해 용기는 아르곤으로 채워진 글러브 박스 안에서 조립하였다. 앞선 공정에서 제조된 Si-SiC-CuO 복합물은 800°C, Ar 분위기에서 3시간동안 열처리한 후 흑연과 무게비 1:1로 칭량한 다음 30분 동안 밀링함으로써 최종 생성물인 Si- SiC-CuO-graphite 복합물을 제조하였다.
복합물을 합성하고자 하였다. 최종 생성된 Si- SiC-CuO-C 복합물의 전기화학적 충방전 거동을 살펴보았으며, 구성 성분들이 충방전 용량과 사이클 특성에 미치는 영향을 조사하였다.
대상 데이터
실험에 사용된 셀은 polypropylene (PP) 재질의 코인형 셀로써 글러브 박스 안에서 조립하였다. 상대 전극과 기준전극으로 Li 금속(Cyprus, 두께 25 mm)을, 격리막으로 PP 재질의 Celgard 2400을 사용하였다. 전해액은 IM LiPF6 + EC/DEC(ethylene carbonate:diethyl carbonate。:1) 용액을 사용하였다.
이때 활물질과 도전재, 결합재의 혼합 중량비는 80:10:10 으로 하였다. 실험에 사용된 셀은 polypropylene (PP) 재질의 코인형 셀로써 글러브 박스 안에서 조립하였다. 상대 전극과 기준전극으로 Li 금속(Cyprus, 두께 25 mm)을, 격리막으로 PP 재질의 Celgard 2400을 사용하였다.
실험용 전극은 결합재로 polyvinylidene fluoridefPVdF) 를 사용흐]였고, 도전재는 carbon black을 사용하였다. 이때 활물질과 도전재, 결합재의 혼합 중량비는 80:10:10 으로 하였다.
Fe가 일부 제거된 혼합물을 1 mol/L 염산, 고액비 1:2, 상온 조건에서 2 시간 교반한 다음 침전시키고 증류수로 세척한 후 건조하였다. 아세톤과 tetraburomoethane(C2H2Br4)7\ 혼합된 비중 2.8의 중액에 혼합물을 투입하여 Si(비중 2.33) 과 SiC(비중 3.22)를 분리하였다.
7) Si-SiC-CuO 복합물을 제조하기 위해 기계적 합금화 방법의 일종인 고에너지 밀링법을 이용하였다. 전극 활물질 합성을 위한 시작 물질로는 Si 슬러지로부터 분리한 Si-SiC 분말, 산화구리 분말(CuO, 5 pm, >99.99%, Aldrich), 흑연(C, -325mesh, >99.99, Aldrich)을 사용하였다. 공기로 인한 영향을 배제하기 위해 용기는 아르곤으로 채워진 글러브 박스 안에서 조립하였다.
상대 전극과 기준전극으로 Li 금속(Cyprus, 두께 25 mm)을, 격리막으로 PP 재질의 Celgard 2400을 사용하였다. 전해액은 IM LiPF6 + EC/DEC(ethylene carbonate:diethyl carbonate。:1) 용액을 사용하였다. 충.
이론/모형
2의 순서를 따라 제조하였다.7) Si-SiC-CuO 복합물을 제조하기 위해 기계적 합금화 방법의 일종인 고에너지 밀링법을 이용하였다. 전극 활물질 합성을 위한 시작 물질로는 Si 슬러지로부터 분리한 Si-SiC 분말, 산화구리 분말(CuO, 5 pm, >99.
실시하였다. 그리고 활물질의 형상과 조성은 전자현미경(SEM-EDS, JEOL) 및 X선 형광법(XRF, Shimadzu)를이용하여 확인하였다.
성능/효과
2) 오일이 제거된 혼합물을 자력선별(자속밀도 500 gauss)과 염산세척(1 mol/L, 2 hr, 고액 1:1, 상온) 에 의하여 Fe 98% 이상을 제거할 수 있었다.
3) 아세톤과 tetraburomoethane 혼합한 비중 2.8의중액을 이용한 중액선별로 높은 비중의 SiC를 혼합물로부터 65% 이상 침전분리할 수 있었으며, 최종 산물은 1 ㎛이하의 미립 Si와 SiC 혼합 응집체임을 확인하였다.
4) 미립 Si와 SiC 혼합물을 원료로 고에너지 볼밀링법으로 Si-SiC-CuO-C 복합물을 합성할 수 있었으며, Cu^- C가 Si입자에 고르게 분포됨을 확인하였다.
5는 사용한 원료, 복합물의 SEM 이미지와 혼합물 단일입자의 electron probe micro analyzer(EPMA) mapping 결과를 보여주고 있다. Si-SiC 혼합물로도 Si-SiC-CuO-graphite 복합물을 제조할 수 있음을 확인할 수 있었고 Cu와 C가 Si와 고르게 혼합되어 있음을 볼 수 있었다.
SiC와 Si의 분리를 위하여 아세톤과 tetraburomoethane 혼합중액에 혼합물을 투입하여 중액선별을 수행한 결과, 비중 3.22의 SiC가 65%정도 제거되었는데 이는 Si 잉곳의 절단공정에서 발생된 Si와 SiC 혼합분말 중 물리적으로 강하게 결합되어 복합화된 분말이 일부분 존재하는 것으로 판단된다. 최종 혼합분말의 존재상과 형상을 X선 회절과 전자현미경을 이용하여 분석한 결과를 Fig.
4%이었다. 반면에 순수한 Si는 잘 알려진 바와 같이 첫 사이클의 충방전 용량은 매우 높으나 과도한 부피팽창 및 기계적 열화 문제에 의하여 5 사이클 이후 용량 유지율이 13% 정도로 크게 감소하는 것을 볼 수 있었다. 반면에 순수한 Si로 제조한 Si-CuO-graphite 복합물의 경우 순수한 Si에 비하여 60% 정도의 초기용량을 가지지만 20 사이클 이후에도 55% 이상의 용량을 유지하는 것을 볼 수 있었다.
충.방전 사이클 특성에서는 20 사이클까지 첫 방전 용량의 92%가 유지됨을 확인할 수 있었다.
복합물의 첫 사이클 충.방전 용량은 각각 870 mAh/g, 660 mAh/g이었고 그 가역 효율은 76.4%이었다. 반면에 순수한 Si는 잘 알려진 바와 같이 첫 사이클의 충방전 용량은 매우 높으나 과도한 부피팽창 및 기계적 열화 문제에 의하여 5 사이클 이후 용량 유지율이 13% 정도로 크게 감소하는 것을 볼 수 있었다.
나타내었고, 충. 방전 효율은 76%였다. 충.
이 경우, 모재에서 발생하는 크랙의 형성 및 전파를 크랙굴절 및 크랙닫힘 메카니즘9)을 통하여 기계적 파괴 현상을 억제시킬 수 있는데, 이러한 기구를 실제 리튬이차전지 음극재료에 적용한 연구 보고 사례9가 있으며, 그 결과에서도 활물질의 부피팽창으로 인한 크랙의 형성을 현저히 억제시켰다. 본 연구에서도 Si 모재 활물질에 분포하고 있는 Sic는 Si에서 나타나는 기계적 열화를 억제시키는 것으로 보이며 그 결과 향상된 수명 용량 유지 특성을 보이는 것으로 판단된다.
참고문헌 (10)
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박건, 박성은, 2008: 폐실리콘 슬러지 재생장치 및 그 재생방법, 대한민국 특허, 10-0837346
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D. L. Chen, M. C. Chaturvedi, N. Goel, and N. L. Richards, 1999: Fatigue crack propagation behavior of X2095 Al-Li alloy, Int. Fatigue, 21(10), pp. 1079-1086.
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