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NTIS 바로가기공업화학 = Applied chemistry for engineering, v.22 no.2, 2011년, pp.230 - 234
유제정 (한국생산기술연구원 그린공정연구그룹) , 황석호 (단국대학교 고분자시스템공학과) , 김상범 (한국생산기술연구원 그린공정연구그룹)
In this work, the primary material for a single layered hardmask which can afford a spin-on process was prepared by the minture of organic and inorganic sources. The preparation of hybrid polymer was attempted by esterification from silanol terminated siloxane compounds and acetonide-2,2-bis(methoxy...
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