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NTIS 바로가기전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.24 no.6, 2011년, pp.449 - 457
김형택 (인천대학교 신소재공학과) , 김대연 (인천대학교 신소재공학과)
Effect of pump combinations on the vacuum characteristics of vacuum system was simulated for optimum design of system. In this investigation, the feasibility of modelling mechanism for VacSimMulti simulator was proposed. Simulation results of various pumping combinations showed the possibilities and...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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진공생성기술의 진공도는 무슨 영역으로 들어서고 있는가? | 진공생성기술의 진공도는 이미 초고진공에서 극고진공영역으로 들어서고 있으며, 또한 기존의 진공환경보다 재현성과 신뢰성이 더 유지될 수 있는 진공기술에 대한 관심이 고조되고 있다. 즉 “진공의 질”이라는 측면에서 진공생성기술, 진공측정기술, 진공유지기술, 진공시스템 해석기술과 같은 진공기술의 유기적인 구현에 의한 고성능 진공시스템이 요구되고 있다. | |
진공기술은 무슨 분야에 핵심 기반기술인가? | 최근 진공기술의 발전으로 진공환경에 대한 산업 응용분야가 다양화되고 있다. 진공기술은 우주공학, 생명공학, 재료공학 및 전자공학 분야에 핵심 기반기술이 되었고, 특히 신소재공학의 진공기술 응용은 매우 빠르게 발전되어 이를 위한 지속적인 연구개발이 요구되고 있다 [1]. | |
진공 구성기술에는 어떤 것들이 있는가? | 진공생성기술의 진공도는 이미 초고진공에서 극고진공영역으로 들어서고 있으며, 또한 기존의 진공환경보다 재현성과 신뢰성이 더 유지될 수 있는 진공기술에 대한 관심이 고조되고 있다. 즉 “진공의 질”이라는 측면에서 진공생성기술, 진공측정기술, 진공유지기술, 진공시스템 해석기술과 같은 진공기술의 유기적인 구현에 의한 고성능 진공시스템이 요구되고 있다. 이러한 진공 구성기술의 종합적, 유기적 기반구축과 연구는 나노과학, 박막공학, 표면공학, 가속기공학과 같은 첨단기술의 국가경쟁력 제고에 크게 기여할 것으로 기대된다 [2-4]. |
S. H. Pae and K. W. Chung, Vacuum Engineering (Korean Economic Daily, Seoul, 2000) p. 127.
Y. S Kim, J. Semicon. & Displ. Equip. Technol., 8, 1(2009).
Varian Associates. Inc., Basic Vacuum Practice, 2nd Ed. (Varian Associates, USA, 2001) p. 61.
SoftSim, $VacSim^{Multi}$ Simulation, http:// www.s oftsim. com/vacsim.php (2010).
J. M. Lafferty, Foundations of Vacuum Science and Technology (John Wiley & Sons, New York, 1999) p. 162.
VacMaster, 1.0 Simulation, http:// www.vecorus.com/vacmaster/ (2010).
S. Shen, L. S. Tung, Proc. 1999 Particle Accelerator Conf., (Particle Accelerator Associates, 1999) p. 184.
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